通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時，免去了以往環境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調整。 也省去測試模式切換時的支架更換環節。
3. 的高性能
日立環境多功能原子力顯微鏡Z采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。 漂移量：

 環境多功能原子力顯微鏡

AFM5300E是一款環境型原子力顯微鏡，它的環境控制單元可以使樣品在大氣中、真空中、溶液中等環境中進行測量。AFM5300E還具有高低溫控制功能，可以檢測溫度對樣品表面形貌和物理特性的影響。

·         特點

1. 環境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等）

AFM5300E能夠實現高真空的測試環境，幾乎避免了樣品表面吸附水對測試的影響，實現的物理特性測量。 真空環境下可以實現更大范圍的溫度控制。另外，新開發的『溫度掃描功能』可監視樣品Z方向的熱脹冷縮，通過控制反饋信號，使懸臂在變溫環境下連續測試樣品表面的物理特性。
（3857581號、3926638號）
●大氣中　●液體中　●真空中　●特殊氣氛（流量控制）
●溫度控制 加熱?冷卻(-120～300℃)　高溫(室溫～800℃)
●濕度控制(0～80%)
●外加磁場（水平、垂直、面內旋轉、max 5000 Oe ）

2. 簡便操作（綜合型Holder Flange）

通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時，免去了以往環境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調整。 也省去測試模式切換時的支架更換環節。

3. 的高性能

采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。 漂移量：0.015nm/sec以下

4. 通過減輕表面吸附水的影響，提高了電氣性能的檢測精度

真空環境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實現高分辨高靈敏的電學性能分析。