日立大型掃描電鏡SU3900
在以納米技術(shù)和生物技術(shù)為主的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域里,從物質(zhì)的微細結(jié)構(gòu)到組成成分,SEM在多種多樣的觀察與分析中得到了靈活應用。SEM用途日益擴大,但對于鋼鐵等工業(yè)材料和汽車零配件等超大/超重樣品,由于電鏡樣品臺能對應的樣品尺寸和重量受到限制,所以觀察時需要進行切割等加工。因此,對超大樣品不施以加工處理,便可直接觀察表面微細形貌和進行各種分析則成為重要的課題。 前代機型是僅僅通過CCD導航相機的單一彩色圖像尋找視野*3。新機型則通過旋轉(zhuǎn)樣品臺,分別拍攝樣品各個部分,再將各個圖像拼接成1張大圖像,實現(xiàn)了大視野的相機導航觀察,十分適用于超大樣品的大范圍觀察。
通過自動光路調(diào)整和各種自動化功能,樣品設(shè)置完后立即可以開始觀察。關(guān)于圖像調(diào)整,自動功能執(zhí)行時的等待時間比前代機型*4縮短了三分之一以下
近年來為了實現(xiàn)各種材料的高功能化和高性能化,需要觀察并優(yōu)化材料的微細結(jié)構(gòu)。目前SEM的應用除了以往的研究開發(fā)以外,已擴展到質(zhì)量和生產(chǎn)管理方面,使用頻率日益高漲。同時市場也對儀器的操作性能提出了更高的要求,以進一步減輕操作人員的負擔。
此次發(fā)售的“SU3800"與“SU3900",支持超大/超重樣品的觀察,特別是大型掃描電鏡“SU3900",可選配 大直徑300mm *1、 大承重5kg樣品(比前代機型提高2.5倍*2)的樣品臺,即使是超大樣品也無需切割加工即可觀察。
同時操作性能也得到了升級。樣品安裝完成后,通過自動光路調(diào)整及各種自動功能調(diào)整圖像,隨后可立即獲得樣品圖像,真正實現(xiàn)了快速觀察。
【主要特點】
(1) 支持超大/超重樣品測試
可搭載的 大樣品尺寸:“SU3800" 標配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉,可應對 大高度為80mm、重量為2kg的樣品。 “SU3900"作為日立的大型掃描電鏡,標配可搭載 大直徑300mm樣品的樣品倉,可應對 大高度為130mm、重量為5kg(比前代機型提高2.5倍*2)的樣品
(2) 支持大視野觀察
■“SU3800"與“SU3900"的 大觀察范圍分別是:直徑130mm、直徑200mm
■安裝有“SEM MAP"導航功能,只需在導航畫面上觀察目標位置,即可移動視野
■安裝有“Multi Zigzag"系統(tǒng),可在不同的視野自動拍攝多張高倍率圖像,并將取得的圖像拼接在一起,生成大視野高像素圖像
(3) 通過自動化功能提高操作性能
■通過自動光路調(diào)整和各種自動化功能,樣品設(shè)置完后立即可以開始觀察。關(guān)于圖像調(diào)整,自動功能執(zhí)行時的等待時間比前代機型*4縮短了三分之一以下
用壽命到期所造成的中斷觀察。
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