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Excel 664 UC影像測量儀技術參數
| Excel 661HM/HC | Excel 662HM/HC | Excel 661 UM/UC | Excel 662UM/UC | Excel 664 UM/UC | |
| 量測行程(mm) | 650x680x160 | 650x680x250 | 650x680x160 | 650x680x250 | 650x680x400 |
| 承載重量 | 100kg | ||||
| XY軸精度(μm) | 2.8+L/200 | 3.1+L/200 | 2.5+L/200 | 2.8+L/200 | 3.5+L/150 |
| Z軸精度(μm) | 2.8+L/100 | 3.3+L/100 | 2.5+L/100 | 3.0+L/100 | 3.8+L/100 |
| 解析度 | 0.4μm | 0.1μm | |||
| 基本倍率 | 1X(LWD)/2X(SWD) | ||||
| 光學變焦 | 6.5x | 12x | |||
| 數位變焦 | 3x | ||||
| 綜合倍率 | 20x-370x/40x-740x | 15x-540x/30x-1080x | |||
Excel 664 UC影像測量儀
使用的技術，提供高速度與度，建立出可靠以及可信賴的測量系統。
該系統包括InSpec測量軟體，可程式化的光學變焦，3X的數碼變焦，非線性平臺補償，非線性光學補償，的LED光源系統以及溫度檢測儀。
InSpec測量軟體功能：使用滑鼠就能輕松編寫程式，專有的系統尋邊功能，的光源控制及校正功能，與復合感測器結合，自動校正，可清晰顯示測量資料及公差。
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