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光柵測量位移的實質是以光柵柵距為一把標準尺子對位稱量進行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴，且制造困難。為了提高系統分辨率，需要對莫爾條紋進行細分，目前（2006年）光柵尺傳感器系統多采用電子細分方法。當兩塊光柵以微小傾角重疊時，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產生莫爾條紋，隨著光柵的移動，莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉換為對莫爾條紋個數的測量。

　　在一個莫爾條紋寬度內，按照一定間隔放置4個光電器件就能實現電子細分與判向功能。例如，柵線為50線對/mm的光柵尺，其光柵柵距為0.02mm，若采用四細分后便可得到分辨率為5μm的計數脈沖，這在工業普通測控中已達到了很高精度。由于位移是一個矢量，即要檢測其大小，又要檢測其方向，因此至少需要兩路相位不同的光電信號。

　　為了消除共模干擾、直流分量和偶次諧波，通常采用由低漂移運放構成的差分放大器。由4個光敏器件獲得的4路光電信號分別送到2只差分放大器輸入端，從差分放大器輸出的兩路信號其相位差為π/2，為得到判向和計數脈沖，需對這兩路信號進行整形，首先把它們整形為占空比為1：1的方波。然后，通過對方波的相位進行判別比較，就可以等到光柵尺的移動方向。通過對方波脈沖進行計數，可以等到光柵尺的位移和速度。

heidenhain海德漢光柵尺LIC 4003

規模	LIC 4003
測量標準線膨脹系數*	玻璃陶瓷或玻璃上的金屬刻度光柵 αtherm？8·10–6 K–1（玻璃） αtherm=（0±0.5）·10–6 K–1（Robax玻璃陶瓷）
精度等級*	±1 µm (僅適用于Robax玻璃陶瓷), ±3 µm, ±5 µm
基線誤差	≤ ±0.275 µm/10 mm
測量長度ml*inmm	240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440 2640 2840 3040 (Robax玻璃陶瓷，大ml 1640)
質量	3 g + 0.1 g/mm 測量長度

掃描頭	AK LIC 411V	AK LIC 419 F V	AK LIC 419 M V		AK LIC 419 P V
界面	EnDat 2.2	Fanuc串行接口αi接口	三菱高速接口		松下系列接口
訂購名稱*	EnDat22	Fanuc05	Mit03-4	Mit02-2	Pana01
測量步驟*	0.01 µm (10 nm) 0.005 µm (5 nm) 0.001 µm (1 nm)		0.01 µm (10 nm) 0.005 µm (5 nm)
計算時間tcal 時鐘頻率	≤ 5 µs 16 MHz	–
橫移速度1）	≤ 600 m/min
插值誤差	±20 nm
電氣連接	電纜1米或3米，帶D-Sub連接器（公接頭）15針
電纜長度（帶海德漢電纜）	≤ 100 m	≤ 50 m	≤ 30 m		≤ 50 m
電壓供應	3.6 V DC to 14 V DC
功耗1（大）	At 3.6 V: ≤700 mW At 14 V: ≤800 mW	At 3.6 V: ≤ 850 mW At 14 V: ≤ 950 mW
電流消耗（典型）	At 5 V: 75mA (無負荷)	At 5 V: 95 mA (無負荷)
振動55赫茲至2000赫茲沖擊6毫秒	≤ 500 m/s2 (EN 60 068-2-6) ≤ 1000 m/s2 (EN 60 068-2-27)
工作溫度	–10 °C to 50 °C
烘烤溫度	100 °C
真空級	高真空高達10–7毫巴
保護EN 60 529	IP40
質量掃描頭連接電纜連接器	18 g (無電纜) 21 g/m D-Sub連接器：64 G
*訂購時請選擇 1）參見海德漢編碼器手冊接口中的一般電氣信息。 Robax是德國緬因州Schott Glaswerke的注冊商標。