光柵尺

光柵尺，也稱為光柵尺位移傳感器（光柵尺傳感器），是利用光柵的光學原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經常應用于數控機床的閉環伺服系統中，可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應速度快的特點。例如，在數控機床中常用于對刀具和工件的坐標進行檢測，來觀察和跟蹤走刀誤差，以起到一個補償刀具的運動誤差的作用。光柵尺按照制造方法和光學原理的不同，分為透射光柵和反射光柵。

結構

光柵尺是由標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成。標尺光柵一般固定在機床固定部件上，光柵讀數頭裝在機床活動部件上，指示光柵裝在光柵讀數頭中。右圖所示的就是光柵尺的結構。

光柵檢測裝置的關鍵部分是光柵讀數頭，它由光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調整機構等組成。光柵讀數頭結構形式很多，根據讀數頭結構特點和使用場合分為直接接收式讀數頭(或稱硅光電池讀數頭、鏡像式讀數頭、分光鏡式讀數頭、金屬光柵反射式讀數頭）。

heidenhain海德漢光柵尺LIDA207精度±15 µm

LIDA 277，LIDA 287 允許較大安裝公差的增量式直線光柵尺

• 測量步距0.5 µm

• 自由裁剪鋼帶光柵尺

• 鋼帶光柵尺穿入在粘性鋁殼中并固定

• 帶三色LED的功能顯示

• 由光柵尺和讀數頭組成

規模	LIDA 207
測量標準線膨脹系數	鋼卷尺；光柵周期200微米 ?therm ? 10 x 10–6 K–1
精度等級	±15 µm
從卷上切下的卷尺*	3 m, 5 m, 10 m
參考標記	每100毫米可選
大規模磁帶秤帶載體	20 g/m 70 g/m

掃描頭	LIDA 28	LIDA 27
界面	1 VPP	TTL
積分插值* 信號周期	– 200 µm	10-fold 20 µm	50-fold 4 µm	100-fold 2 µm
截止頻率掃描頻率邊緣分離A	≥ 50 kHz – –	– ≥ 50 kHz ≥ 0.465 µs	– ≤ 25 kHz ≥ 0.175 µs	– ≤ 12.5 kHz ≥ 0.175 µs
橫移速度	≤ 600 m/min		≤ 300 m/min	≤ 150 m/min
插值誤差	±2 µm	–
電氣連接*	電纜，1米或3米，帶15針D-Sub連接器（公）
電纜長度	見接口說明，但≤30米（帶海德漢電纜）
電源	DC 5 V ±0.25 V
電流消耗	< 155 mA	< 140 mA (無負荷)
振動55赫茲至2000赫茲沖擊11毫秒	≤ 200 m/s2 (EN 60068-2-6) ≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-27)
工作溫度	–10 °C to 70 °C
質量掃描頭連接電纜連接器	20 g (無電纜) 30 g/m 32 g
*訂購時請選擇