詳細介紹
日立高新超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡SU9000是專門為電子束敏感樣品和需最大300萬倍穩定觀察的*半導體器件,高分辨成像所設計。
新的電子槍和電子光學設計提高了低加速電壓性能。
0.4nm / 30kV(SE)
1.2nm / 1kV(SE)
0.34nm / 30kV(STEM)
用改良的高真空性能和電子束穩定性來實現高效率截面觀察。
日立高新超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡SU9000采用全新設計的Super E x B能量過濾技術,高效,靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。
核心參數
價格區間:500萬-700萬
電子槍種類:冷場發射
二次電子圖象分辨率:0.4nm@30kV,1.2nm@1kV
放大倍數:220~8,000,000
加速電壓:0.5~30kV