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產品簡介
詳細介紹
一·出口型小型真空感應定向凝固爐設備用途：
出口型小型真空感應定向凝固爐主要包括兩種功能，即可用于材料的熔化提純，也可用于材料的定向凝固。
二·出口型小型真空感應定向凝固爐設備特點：
本設備采用立式底部升降結構，一體化設計，結構緊湊，裝卸料方便，真空爐體采用石英管
三·小型真空感應定向凝固爐主要技術參數(shù)
1.加熱溫度： 1600℃
2.常用溫度： 1400℃
3.功率： 15Kw±10%
3.冷態(tài)極限真空度： ≤5Pa
4.坩堝尺寸： Ф30×200mm（直徑×高 ）
5.測溫系統(tǒng)： 紅外儀控溫測溫
6.加熱方式： 高頻感應加熱
7.坩堝材質：石英坩堝
8.坩堝護套：氮化硼+石英陶瓷保溫套
9.坩堝升降速度：位移行程 250mm（步進電機控制）
10·爐內充氣壓力： ≤0.03MPa
11·充氣系統(tǒng)： 自動充放氣
四、結構組成及說明
1、石英真空腔室
2、爐底及升降裝料機構
3、感應加熱系統(tǒng)及
4、真空系統(tǒng)
5、控制系統(tǒng)
6、冷卻水分配系統(tǒng)
三、小型真空感應定向凝固爐結構說明
1、石英真空腔室：真空密封腔室，采用石英管上下配水冷密封法蘭的方式，采用徑向密封的方式，上下法蘭采用水冷密封法蘭，保證密封性，同時也保證密封圈的受熱溫度在常溫。爐蓋水冷法蘭配有真空壓力表，真空抽氣接口，觀察窗，熱偶測溫裝置以及放氣閥、安全閥等裝置。一體化設計，外形整潔美觀。
2、爐底及坩堝升降機構：爐底水冷法蘭與石英管腔室采用“O”圈真空密封，
坩堝升降機構：采用步進伺服電機+精密線性模組方式，電機升降系統(tǒng)密封均采用焊接波紋管密封，安裝方便可靠。升降桿采用空心水冷結構，上面有一坩堝托盤，用來放置熔煉坩堝及保溫裝置。電機控制采用PLC+觸摸屏方式，速度位移按照工藝要求任意設定，保證其行走速度的穩(wěn)定性和位置的準確性。用于定向凝固做晶體生長使用。
4、感應加熱系統(tǒng)：設備加熱采用感應加熱的方式，有一高頻感應電源配合感應線圈及線圈升降裝置、坩堝及保溫套組成加熱系統(tǒng)。采用感應線圈不動，內部坩堝升降移動的方式，來實現(xiàn)材料晶體的熔融及定向凝固。可以用來做小量材料晶體的生長制備實驗。測溫采用紅外實時測溫，坩堝底部可預留熱偶測溫裝置，實時顯示坩堝溫度。
5、真空系統(tǒng)：由一臺機械泵配真空閥門、充氣閥、放氣閥組成真空系統(tǒng)。真空管道與泵聯(lián)接采用快速接頭聯(lián)接（減緩震動），真空測量選用具有數(shù)字顯示功能的真空計執(zhí)行。
6、控制系統(tǒng)：采用PLC+觸摸屏的方式 ，所有的動作都有PLC來完成，安全可靠。功能強大，操作方便，具有超溫，上線限控制聲光報警功能。控制柜面板上設有液晶觸模屏，可設定長晶速度、位移等，界面清晰直觀，數(shù)據(jù)可記錄，查詢，導出，曲線數(shù)據(jù)，歷史數(shù)據(jù)可實時顯示，可實時觀測直觀各部件的工作狀態(tài)，實時記錄工況。
7、水冷分配系統(tǒng)：由循環(huán)水機及主管道、分管路、水閥、壓力報警等相關裝置組成，具有斷水聲光報警及自動切斷電源等功能。
五、成套供應范圍
1. 高真空腔室 1套
2. 伺服升降裝置 1套
3. BN坩堝(護套) 1套
4. 熱電偶 1支
5. 控制系統(tǒng)（plc+觸摸屏系統(tǒng)） 1套
6.產品說明書，合格證 1份
7．循環(huán)冷水機：1P 1臺