詳細介紹
安捷倫Agilent 渦輪分子泵? Turbo-V 2K-G 不僅僅是一臺泵。它是專門為等離子濺射工藝精心設計的分子泵系統。其葉片級數和泵的整體結構均經過優化,可以工作在高氬氣氛圍下和溫度*的環境中。此外,它還擁有內置的控制器件、一體化的放空和充氮氣保護閥以及免維護的軸承。所有這些特點使 Agilent Turbo-V 2K-G 成為鍍膜工業出色泵解決方案。
安捷倫Agilent 渦輪分子泵 ?特性:
1、為薄膜沉積應用而專門設計的分子泵解決方案
2、現有的高性能、較緊湊的儀器
3、*個采用*集成的方法大程度提高系統效率和正常運行時間的渦輪分子泵
4、將渦輪分子泵、驅動器件、電源、MoniTorr、吹掃氣裝置和通信裝置集于一身
5、通用電子器件接口并配有操作簡單的控制軟件模擬 I/O 信號以及 RS232/RS485 接口等標準配置
6、安捷倫 Profibus 接口(可選)
7、采用了安捷倫 A-PLUS 軟件(原 T-plus)
渦輪分子泵應用范例:
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設計旨在實際應用中達到高性能。泵的緊湊型設計滿足工業中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護,并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設備制造商,安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持,或定制適合您的需求的系統。
典型渦輪泵應用:
領域 | 詳細說明 | 應用 |
質譜和分析儀器 |
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科研中的真空應用 |
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工業真空加工 |
| 薄膜沉積:
設備加工:
一般工藝:
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納米技術儀器 |
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技術規格:
抽速: | N2:1600 L/s | ?? |
壓縮比: | N2:3 × 105 | |
極限真空*(使用推薦的前級泵) | < 1 × 10-8 mbar | |
入口法蘭 | ISO 250F | |
前級管道法蘭 | KF 40 NW | |
額定轉速 | 33000 rpm | |
啟動時間 | < 7 分鐘 | |
推薦的前級泵 | > 40 m3/h | |
工作位置 | 任意位置 | |
操作環境溫度 | +5 °C 至 +40 ℃ | |
電源 輸入電壓 輸入頻率 | 100–240 Vac 50-60 Hz | |
通訊接口 | 模擬 I/O RS232/RS485 Profibus | 標準 標準 可選 |
尺寸 | 高度 | 335 mm(13.18 英寸) |