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詳細介紹
安捷倫Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵采用 TwisTorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經濟性。TwisTorr 拖動技術對小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實現大抽氣量和高前級耐壓，進而能使用更經濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉子能采用緊湊的設計，變得高效節能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統降低了噪音和振動，并能保證優秀的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，超大程度減少系統停機時間，并能確保長時間穩定的抽氣性能。TwisTorr 804 FS 泵獨有的軸承和干式潤滑劑設計，使得泵無需泵油和維護，能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機架控制器。
特性：
1.創新的 TwisTorr 技術 — 對小分子氣體的高壓縮比實現了高性能和最小的系統占用空間。
2.高前級耐壓 — 允許使用更小的前級泵，從而降低了系統成本和尺寸。
3.安捷倫懸浮軸承系統 — 低振動、低噪音和游戲軸承工作條件可延長泵的使用壽命，從而實現使用維護成本優化，超大程度減少系統停機時間，并保證長時間穩定的抽氣性能。
4.獨有的軸承和干式潤滑劑 — 免維護、免油，實現任意角度安裝。
5.“三維”泵控制軟件使靈活性、速度和簡便性達到大化，可在泵的操作條件下達到優秀通量和壓縮性能。
典型渦輪泵應用：
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設計旨在實際應用中達到優秀性能。泵的緊湊型設計滿足工業中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護，并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設備制造商，安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統。
安捷倫Agilent TwisTorr 804 FS渦輪分子泵應用：
| 領域 | 詳細說明 | 應用 |
質譜和分析儀器 |
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科研中的真空應用 |
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工業真空加工 |
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| 薄膜沉積：
設備加工：
一般工藝：
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納米技術儀器 |
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性能指標 ：
| 抽速： | ISO200K-F | ISO250K-F | CFF10 |
| N2 He H2 Ar | 720 L/s 660 L/s 485 L/s 690 L/s | ||
| 最高氣體通量 (*) | 風冷 （空氣溫度 25 °C） | 水冷 （水溫 15 °C/室溫 25 °C） | |
| N2 | 4.3 mbar L/s 255 SCCM | 6.1 mbar L/s 367 SCCM | |
| He | 7.9 mbar L/s 467 SCCM | 10.4 mbar L/s 615 SCCM | |
| Ar | 1.5 mbar L/s 89 SCCM | 3.3 mbar L/s 195 SCCM | |
| (*) 前級泵 11.6 m3/h | |||
| 壓縮比與前級耐壓關系* | |||
| N2 He H2 Ar | > 1E + 11 2E + 08 3E + 06 1E + 11 | 10 mbar 10 mbar 4 mbar 8.5 mbar | |
| (*) 前級耐壓定義為，在水冷模式下，當渦輪泵仍能產生 100 的壓縮比時的壓力 | |||
| 采用推薦前級泵時的極限真空 | < 1 × 10-10 mbar (< 1 × 10-10 Torr) | ||
| 抽氣口法蘭 | ISO 200K，ISO 200F，ISO 250K， ISO 250F，CFF 10 英寸 | ||
| 前級管道法蘭 | NW25 或 NW40 | ||
| 推薦的前級泵 | DS302 IDP10 IDP15 | ||
| 工作位置 | 任意 | ||
| 操作環境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | ||
| 潤滑油 | 長期性脂潤滑 | ||
| 冷卻要求 | |||
| 風冷 | 空氣溫度由 +5 °C 至 35 °C | ||
| 水冷 | 水溫由 +15 °C 至 +25 °C 水流速最低 100 L/h | ||
| 噪音壓力級別 （全速運行時距離 1 m 處） | 43 dB(A) |
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