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詳細(xì)介紹
美國進(jìn)口渦輪分子泵Turbo-V 1001 Navigator提供從 790 至 1050 L/s（視氣體而定）的抽速，并且采用 Navigator 產(chǎn)品線中*進(jìn)的技術(shù)。安捷倫渦輪分子泵經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計，可以在低壓強內(nèi)實現(xiàn)高壓縮比，在大抽氣量和高前級壓強時實現(xiàn)至大的壓差。該泵無油、無污染，并且具有非常低的故障率，可以在任何位置任意角度安裝而不對材料施加應(yīng)力。典型的平均故障時間 (MTTF) 大于 250000 小時。渦輪分子泵的應(yīng)用范圍包括高能物理和研究、納米技術(shù)、質(zhì)譜技術(shù)、工業(yè)真空加工和半導(dǎo)體，并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的泵。
特性：
1.功耗更低、性能更佳
2.通過減少發(fā)熱而節(jié)能，并提高可靠性
3.為風(fēng)冷而優(yōu)化的冷卻翅片
4.通過降低工作溫度進(jìn)一步提高可靠性
5.Turbo-V 81-M MacroTorr 泵具有優(yōu)化的幾何尺寸
6.功率要求低，前級耐壓高及可承受高氣載
7.可拆卸的前級連接器
8.可連接各種前級泵
9.冷卻方式靈活（風(fēng)冷或水冷）
10.采用安捷倫 A-PLUS 軟件（原 T-plus 軟件）
典型渦輪泵應(yīng)用：
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計旨在實際應(yīng)用中達(dá)到高性能。泵的緊湊型設(shè)計滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù)，并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
美國進(jìn)口渦輪分子泵Turbo-V 1001 Navigator?典型渦輪泵應(yīng)用
| 領(lǐng)域 | 詳細(xì)說明 | 應(yīng)用 |
質(zhì)譜和分析儀器 |
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科研中的真空應(yīng)用 |
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工業(yè)真空加工 |
| 薄膜沉積：
設(shè)備加工：
一般工藝：
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納米技術(shù)儀器 |
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技術(shù)規(guī)格：
| 抽速： | ISO 160： CFF 10 英寸或 ISO 200： ISO 250： | N2：790 L/s N2：950 L/s N2：1050 L/s | He：820 L/s He：870 L/s He：900 L/s | H2：860 L/s H2：900 L/s H2：920 L/s |
| 壓縮比： | ISO 160 | N2：1 × 109 | He：1 × 107 | H2：1 × 106 |
| 極限真空*（使用推薦的前級泵） | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr) | |||
| 抽氣口法蘭 | ISO 160 ISO 200 | ISO 200-F 螺栓 | CFF 10 英寸 | ISO 250 ISO 250-F 螺栓 |
| 前級管道法蘭 | KF 40 | |||
| 轉(zhuǎn)速 | 38,000 rpm | |||
| 啟動時間 | 小于 4 分鐘 | |||
| 推薦的前級泵 | 機(jī)械：Agilent DS 402 旋渦式干泵：Agilent TS300，IDP-15 | |||
| 工作位置 | 任意 | |||
| 冷卻要求 | 強制通風(fēng)或水冷 | |||
| 烘烤溫度 | 抽氣口法蘭至高溫度 120 °C（CF 法蘭） 抽氣口法蘭至高溫度 80 ℃（ISO 法蘭） | |||
| 振動參數(shù)（位移） | 在抽氣口法蘭處小于 0.01 μm | |||
| 重量 kg（磅）： | ISO 160 法蘭 ISO 200 法蘭 CF 10 英寸法蘭 ISO 250 法蘭 ISO 200-F 和 250-F 螺栓法蘭，CF 10 英寸法蘭 | 19 (41.8) 19.4 (43.0) 25.5 (54.2) 21.2 (46.6) 25.5 (54.2) | |
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