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詳細介紹
通過脈寬調制器將輸入的模擬信號調制成一定頻率和幅度的脈沖信號，然后通過數字放大控制氣動電磁閥。電磁閥的輸出是具有一定壓力和流量的氣動脈沖信號，但它有足夠的功率在氣動執行器的幫助下工作在負載上。低信號必須通過濾波器降低到模擬負載。低通過濾器可以是氣動執行機構或負載本身。前者稱為脈寬調制（PWM）線性化系統，后者依賴于負載的較大慣性。它不能響應高頻脈沖信號，只能對脈寬調制信號的平均效應做出響應。伺服閥的性能主要是動態響應和對稱性要求。假設電磁鐵的脈沖是平方波。從電磁鐵接收到信號到執行器開始動作的時間稱為信號延遲時間。延遲時間包括三部分：是電磁線圈中的電流從零逐漸增加到電樞開始移動的時間；第二部分是電樞和閥芯一起移動的時間；第三部分是從節氣門打開、執行器的工作腔放氣到該時間的時間當執行器開始動作時。前兩部分時間由PWM伺服閥決定。脈寬調制氣動伺服系統的工作頻率一般在10hz～20hz之間。為了滿足動態響應的要求，延遲時間越短越好。
MOOG伺服閥D634-319C穆格代理
閥芯往復運動的響應要一致，即加在兩個電磁鐵上的脈沖信號在傳遞過程中延遲時間應基本相同，兩輸出口的壓力與流量應基本相同；對三通球閥，對應脈沖信號上升沿下降沿的延遲時間應基本相同，球閥的充氣過程和排氣過程應基本相同。由于三通球閥與差動氣缸匹配，其對稱性不如四通滑閥好。當信號反轉時，彈簧力幫助閥芯反向移動。當閥芯移動超過中間位置時，彈簧力發生變化，防止閥芯移動，并能降低閥芯到位的沖擊力，降低噪音。還有氣壓反饋形式，其作用原理是一樣的。
與模擬控制相比，PWM控制具有很多優點：控制閥工在高頻開關狀態下，可以消除死區、干摩擦等非作線性因素；控制閥的加工精度不高，降低了控制系統的成本；調節閥的節流閥常處于全開狀態，抗污染能力強，運行可靠。缺點是輸出功率小，機械振動和噪音大。
一般金屬在超過其彈性變形后會發生變形，而SMA卻在將其加熱到某一溫度之上后，會恢復其原來高溫下的形狀。利用其特性研制的伺服閥是在閥芯兩端加一組由形狀記憶合金繞制的SMA執行器，通過加熱和冷卻的方法來驅動SMA執行器，使閥芯兩端的形狀記憶合金伸長或收縮，驅動閥芯作用移動，同時加入位置反饋來提高伺服閥的控制性能。從該閥的情況來看，SMA雖變形量大，但其響應速度較慢，且變形不連續，也限制了其應用范圍。伺服閥可按照系統的需要來確定控制目標：速度、位置、加速度、力或壓力。同一臺伺服閥可以根據控制要求設置成流量控制伺服閥、壓力控制伺服閥或流量/ 壓力復合控制伺服閥。并且伺服閥的控制參數，如流量增益、流量增益特性、零點等都可以根據控制性能化原則進行設置。
HENGSTLER 編碼器RI58TG-2048ED 3DRF-A3-S
編碼器RI58-0/8192 E K.42 R X-S
美國BADGER 流量計8401510-0022
E+H 液位開關FTM50-AGG2A1A32 AA
NORGREN 電磁閥8496955.8074.024.00
BURKERT 電磁閥00140653
賀德克 蓄能器氣門芯SB330-32F1/112A9-330
ASCO 電磁閥EF8320G203 DC24V
FESTO 電磁閥MN1H-2-1/2-MS （含線圈及插頭）
FESTO 氣控閥 J-5-PK-3 4503
高諾斯 位置檢測器81921701
REXROTH "電磁閥4WE10D33/CG220N9K4 升級4WE10D3X/CW230N9K4
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電磁閥4WE6D62/EG220N9K4 升級4WE6D6X/EW230N9K4
MAC 電磁閥55B-12-RA
電磁閥55B-22-RA
ITT 連接器CA02COM-E14SA7P
圖爾克 壓力變送器PT010R-14-LI3-H1131
美國BADGER 流量計8401510-0022
MOOG 伺服閥D634-319C
MOOG 伺服閥J761-002
HYDAC 壓力傳感器HDA4745-A-400-000
HYDAC 儲能罐閥座SBO200P-1E1/112A9-200AI
歐姆龍 傳感器E3JM-DS70M4T
美國Adamant Valves 止回閥 AV-3MC-1-316L-V
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