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氦質譜檢漏儀基本檢測方法如下:噴氦法,真空氦罩法,吸槍法,鋼瓶法,真空容器法,并列排氣法等。
島津氦質譜檢漏儀搭載了新型的CPU,采用專用的分流泵及中間排氣系統,實現了的低BG恢復性能和操作性。
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