無塵車間

   無塵車間，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。安陽無塵車間工程

防止方法：

在電子元件制品的制造過程中，微粒子污染對成品率有重大影響，故應在過程中嚴格控制微粒子的數量，遵守“不攜入、不發生、不儲備、除去”四項基本原則以防止微粒子污染。
　　無塵室內的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達到零水平，實際的生產現場由于作業者、機器、周邊機械的發塵及基板運送時所接觸的零件材料的發塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。
　　無塵室內該如何防止微粒子污染呢？應遵守下列四項基本原則：
　　1）不攜入
　　在無塵室內不攜入微粒子的方法有：
　　作業員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理；
　　進入無塵室者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。
　　通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。
　　機器及材料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀態下帶進無塵室前室保養后用超純水擦拭，經風淋室吹淋后才進入無塵室。
　　無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。
　　2）不發生
　　在控制大污染源--人在無塵室內的微粒子發塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發塵量。因物品在移動時，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵，而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控制發塵量達到小限度應采取以下對策：
　　減少接觸剝離發塵的動作形態；
　　采用磨耗發塵小的材質；
　　采用發塵小的潤滑油；
　　機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。
　　3）不儲備
　　若能*實施“不攜入”技術，無塵室內的潔凈度就可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內要有*潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。
　　在高等級的無塵室中從天花板到地面，*除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和*過濾空氣*交換所計算出來的數值。同時，空氣的流向也必須要有準確的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域，使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。
　　控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著，通常在無塵室內會使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態及接觸部品材料，并藉由除電裝置進行除電。
　　4）排除/除去
　　在無法避免大量微粒子發生的機臺中，為了不讓無塵室內產生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向無塵室外排氣，負離子檢測儀而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內之對策。

維護管理：

潔凈技術在近20年發展迅速，各種規模、不同等級的無塵室在電子、精密機械、航天、醫療、食品、化妝品、生物制藥等行業發揮著日益重要的作用，為提高產品質量、開發產品做出了重要貢獻。無塵室如果設計是正確、合理的，施工建造是高質量的，但在運行維護管理中不科學、不嚴格、必將使無塵室的空氣潔凈度逐漸下降，造成實際生產環境中的多項指標偏離規定要求，從而產品質量下降，甚至不合格。

無塵室人員管理，制定專職管理人員的職責、無塵室人員的準入制度、人員培訓教育規定、進入無塵室人員的“人凈程序”管理。物流管理，物料進入、各類設備進入，以及相關設備、管線的維護管理，應做到不得將微粒、微生物帶入室內。潔凈度管理，包括潔凈服采購和制作、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規定等。清掃、滅菌管理，對于無塵室內的各種設備和設施的清掃滅菌方法，周期和檢查作明確的規定，防止、消除無塵室內塵粒、微生物的產生、滯留及繁殖。嚴格各類設備、設施的維護管理，制定相應的操作規程，保證各類設備、設施按要求正常運轉，包括凈化空調系統、各類水電系統、生產工藝設備和器具等，以確保產品生產工藝要求和空氣潔凈度級別。

監控無塵室在使用過程中正常的運行和維護，應對室內的運行狀況及相關設施進行定期檢查。如：在規定的時間、地點，用粒子計數器測定控制粒徑的微粒數；在規定時間、地點測定沉降菌落數或浮游菌數等；溫濕度方面，在規定的時間、地點測定和核對連續測定記錄；測量凈化空調系統的高效過濾器的壓差，檢查空氣過濾器是否堵塞、安裝的密封墊是否完好或過濾器損壞引起的泄露情況，使用風速計檢查局部排風裝置的風量；使用噪聲測定儀在規定的時間、地點測定噪聲值；檢查送風機軸承、送風機的運行狀態、塵埃和污物，以及送、回風管道內部和送風口的腐蝕及污垢等情況；無塵室內是否保值清潔、頂棚和墻面是否有裂縫或腐蝕；涂敷狀態、機械和設備類有沒有異常現象等，必須逐個列表檢查，不能遺漏任何一項；使用照度表在規定的時間、地點測定照度值；使用壓差表測定無塵室內外的靜壓差。安陽無塵車間工程