弗萊貝格MDPinline ingot在線硅錠成像設備

對高通量要求的PV工廠中多晶和類單晶錠進行電學參數測試表征，在1mm分辨率下的總測量時間少于一分鐘。

產品特點
檢測符合半導體標準SEMI PV9-1110
對半導體材料電學參數進行非接觸和非破壞性測試
對少子壽命參數可做面掃描測試
對不可見缺陷的可視化測試具有很高靈敏度
對鐵濃度分布做面掃描自動設置硅錠切割標準
對硅錠少子壽命的穩態測試，可硅錠的性能
自動化的集成設計低成本測試
對光伏級別的硅錠進行2D成像掃描測試，
對一個硅錠，可在一分鐘內完成分辨率低于1mm的成像測試

產品優勢

MDPinline ingot對有高通量要求PV工廠里的多晶硅錠電學參數，具備在線測試速度：在1分鐘內可完成分辨率大于1mm的成像掃描測試，同時可完成電導類型轉變的空間分布掃描和電阻率的線掃描測試。客戶制定的硅錠切割標準，可通過數據中心，對下一代PV工廠的材料制備進行全自動監控，完成對材料生長質量控制，坩堝狀況監控，以及各種失效分析。通過的“underneath thesurface”測試技術，可減少由表面復合引起的數據失真情況出現。

弗萊貝格MDPinline ingot在線硅錠成像設備

MDPinline ingot系統是范圍內的測量工具，可用于對多晶硅和類單晶硅錠進
行電學表征。專為高通量工廠中的單個晶錠測試而開發，每個晶錠都可在1分鐘內完成所有面的電學
參數表征測試參數包括1mm分辨率的少子壽命面掃描分布，電導類型分布圖，以及電阻率線掃描分布圖。

該系統包括數據處理，傳輸和存儲，以及評估系統。提供全自動的硅錠切割位置，用于產能，材料質量監控，坩堝選擇和工藝優化等。