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詳細(xì)介紹
日本三豐378系列半導(dǎo)體檢測用顯微鏡FS70Z
日本三豐378系列半導(dǎo)體檢測用顯微鏡FS70Z
• 帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測金屬表面、半導(dǎo)體、液晶基板、樹脂等。
• 多種顯微鏡鏡體通常用作適用于專業(yè)器械 的 OEM(原廠委制) 產(chǎn) 品， 如 那 些 利 用YAG(近紅外、可見、近紫外或紫外) 激光 *對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行檢測和修補(bǔ)的設(shè)備。* 不保證激光系統(tǒng)產(chǎn)品的性能和安全性。
• 應(yīng)用 ：切割、修整、校正、給半導(dǎo)體電路做標(biāo)記 / 薄膜 (絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(fù) (校正錯(cuò)誤)。還可用作光學(xué)觀察剖面圖以便探針分析半導(dǎo)體故障。
• 可用于紅外光學(xué)系統(tǒng) *。應(yīng)用 ：晶體硅的內(nèi)部觀察 ；紅外光譜特征分析。* 需要紅外光源和紅外攝像機(jī)。
• 支持 BF (亮視場)、DF (暗視場)、偏振光及微分干涉對比 (DIC) 的型號 (產(chǎn)品) 可用。
• 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學(xué)系統(tǒng)上的標(biāo)準(zhǔn)配件。
• 內(nèi)傾轉(zhuǎn)塔和超長工作距離的物鏡確保了顯微鏡下的高可操作性。
- 型號 FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L4 FS70L4-TH
- 貨號 378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1 378-187-3
- 短基座型號 FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
- 貨號 378-184-2 378-184-4 378-185-2 378-185-4 378-186-2 378-186-4 378-187-2 378-187-4
- 對焦 50mm 行程，同心焦距粗調(diào) (3.8mm/轉(zhuǎn))和微調(diào) (0.1mm/轉(zhuǎn)) 對焦輪(左、右)
- 圖像 正像
- 瞳距 西登托夫型, 調(diào)節(jié)范圍: 51 - 76mm
- 視場數(shù) 24mm
- 俯角 — 0º- 20º — 0º - 20º — 0- 20º — 0º - 20º
- 透過率 固定(目鏡 /TV=50/50) 可調(diào)型 (目 鏡/管徑= 100/0:0/100) 固定(目鏡/ TV=50/50) 可調(diào)型 (目鏡/管徑= 100/0:0/100)
- 防護(hù)濾光片 — 內(nèi)置激光濾光片
- 光學(xué)管徑 1X 1X - 2X變焦 1X
- 適用激光 — 1064/532/355nm 532/266nm
- 相機(jī)端口 C-mount (使用適配器B選件*1) 使用帶有電視端口的激 光器 C-mount 端口 (帶有綠色濾光片轉(zhuǎn)換 開關(guān))
- 照明系統(tǒng), 選件 亮視場反射照明(科勒照明、帶孔徑光闌) 12V 100W 光纖傳導(dǎo)、無極亮度調(diào)節(jié)、光纖長度：1.5m
- 物鏡, 選件 (用于觀察) M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
- 物鏡, 選件 (用于激光切割) — M/LCD Plan NIR, M/LCD Plan NUV M Plan UV
- 載重* 2 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.2kg 13.5kg 13.9kg 13.1kg
重量 (主機(jī)) 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.4kg 7.2kg 6.7kg 7.5kg
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