化工儀器網
詳細介紹
三豐Hyper MF-U高精度全自動工具測量顯微鏡
三豐Hyper MF-U高精度全自動工具測量顯微鏡
•自動化且精度最高的測量顯微鏡 (*顯示分辨力 0.01um)。
• 主機的前臺操作設計是基于 UD( 通用化設計 )的理念。
• 配備三軸電動前置控制手柄，這使傳統的顯微鏡操作有了*的變化，即使在快速運動的過程中也能進行精細定位。
• 用戶可選擇傳統的顯微鏡光學管路或帶內置激光自動對焦功能的光學管路，其觀察方法多種多樣，提高了測量工作的效率。
• 行程為 250×150mm 的大工作臺可為大工件的測量提供足夠的空間。
• 使用超高精度低熱膨的玻璃光柵尺和高分辨力的讀數頭。
• 暢銷的數據處理裝置 QM-Data200 和 Vision Unit可結合使用，提供有效且穩定的測量環境。
• 晶片夾持器 (可用于小于 8" 的晶片) 和高硬度中心支架滿足高精度測量的需求。
• 電動轉塔型擁有回縮功能，該功能在*換物鏡時啟動工作。
規格
型號 | Hyper MF-B2515B | Hyper MF-UB2515B | Hyper MF-UD2515B | Hyper MF-UE2515B | |
貨號 | 176-420* | 176-421* | 176-422* | 176-423* | |
觀察類型 | BF | BF | BF或BF/BD | BF | |
數碼自動對焦功能 | 一 | 一 | 一 | 有 | |
XY工作臺移動范圍 | 250*150mm | 250*150mm | 250*150mm | 250*150mm | |
測量裝置 | 線性編碼器 | 線性編碼器 | 線性編碼器 | 線性編碼器 | |
分辨率 | 0.01um | 0.01um | 0.01um | 0.01um | |
測量精度(20oC時) | (0.9+3L/1000)μm, L為XY軸無負載測量長度(mm) | ||||
驅動系統 | 帶操縱桿的電動驅動控制 | ||||
XY工作臺臺面尺寸 | 460*350mm | 460*350mm | 460*350mm | 460*350mm | |
載物玻璃有效尺寸 | 300*200mm | 300*200mm | 300*200mm | 300*200mm | |
旋轉功能 | ±3o | ±3o | ±3o | ±3o | |
工件重量 | 30kg | 30kg | 30kg | 30kg | |
工件高度 | 150mm | 150mm | 150mm | 150mm | |
化工儀器網