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臨沂潔凈廠房的微振控制設施設計
臨沂潔凈廠房的微振控制設施設計應分階段進行,應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。
設計有微振控制要求的潔凈廠房時,應符合下列規定:
潔凈廠房的微振動控制設計,應按下列階段進行微振動測試分析:
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