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目錄:上海昊量光電設備有限公司>>光學/激光加工系統>>無掩膜光刻系統>> DMD無掩膜光刻機

DMD無掩膜光刻機
  • DMD無掩膜光刻機
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 廠商性質 代理商
  • 所在地 上海市
屬性

產地類別:國產 應用領域:化工,電子

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更新時間:2021-09-10 09:50:25瀏覽次數:5421評價

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產地類別 國產 應用領域 化工,電子
DMD無掩膜光刻機結合電動移動平臺,可實現曝光拼接,分辨率可達到3mm。可通過公司編寫的軟件完成詳細設定,使操作簡潔方便。

DMD無掩膜光刻機無需制造掩膜,采用DMD數字掩膜,可在抗蝕劑內曝光所希望的任意圖案。無掩膜光刻機可以讀取任何CAD數據,除此之外DMD式無掩膜光刻機還可以讀取Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等其它格式。DMD式無掩膜光刻機使用365nmLED光源,降低價格的同時實現了穩定的曝光。采用10倍物鏡,一次曝光面積可達1mm´0.6mm,曝光時間僅需1s。結合電動移動平臺,可實現曝光拼接,分辨率可達到3mm。可通過公司編寫的軟件完成詳細設定,使操作簡潔方便。

 

DMD無掩膜光刻機與傳統的光刻機不同,AU-PALET光刻機采用DMD數字掩膜光刻技術,無需制造掩膜。大大降低了時間和成本。無掩膜光刻機可以讀取任何創建的CAD文件,直接進行光刻。除了CAD文件,還可以讀取豐富的其它格式的數據,例如Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等。

 

 

 

AU-PALET DMD式無掩膜光刻機采用短波段的LED燈為光源,相對于其它的光源,擁有更高的穩定性和更長的壽命,降低價格的同時實現了穩定的曝光。AU-PALET 無掩膜光刻機為面曝光,采用10倍的物鏡,一次曝光面積可達到1mm´0.6mm,結合電動平移臺可實現曝光拼接,可達到更大的曝光面積。可通過公司編寫的軟件完成簡單操作和詳細設定,操作簡潔方便。

 

設備有限公司推出的DMD式無掩膜光刻機有兩種。

 

①  AU-PALET是一款快速光刻的無掩膜光刻機。本裝置采用375nm的LED光源,實現了穩定的曝光,并且擁有更高的穩定性和更長的壽命。采用10´的物鏡曝光面積達到1mm´0.6mm,光刻分辨率達到5mm,并在10s 內完成曝光。

②  

 

 

②AU-PALET­_new 是AU-PALET的升級版本,在光源上采用波長更短的365nm的LED燈作為光源,采用10´的物鏡曝光面積達到1mm´0.6mm,光刻分辨率達到3mm,并在1s 內完成曝光。

 

 

 

u  主要特點

  • 高速度(1s)

  • 廣范圍(1´0.6mm)

  • 365nm LED光源

  • 高分辨率 (3mm)

  • 成本低

 

u  主要應用

磁性薄膜等的任意形狀的圖案的形成

傳感器,半導體器件的制作

MEMS器件的試制、

光電子,LED的試制

微流體器件的試制

掩膜版制作

細胞分離通道等的制作

光波導路的制作

 

 

 

 

主要參數

型號

參數

AU-PALET

AU-PALET_new

光源

375nm LED

365nm LED

光刻分辨率(使用10倍物鏡)

5 mm

3 mm

曝光面積(使用10倍物鏡)

1mm´0.6mm

1mm´0.6mm

平臺

手動XYZq平臺

手動XYZq平臺

構成

裝置本身,電腦, 軟件

裝置本身,電腦, 軟件

外形尺寸

420(W) x 300(D) x 600(H)

300(W) x 450(D) x430(H)

選項

2x鏡頭,電動平臺等

2x鏡頭,電動平臺等

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