TMC主動空氣消振器Electro-Damp II

Electro-Damp®是第一款專門用于提高半導體制造應用中的吞吐量、分辨率和產(chǎn)量的商用主動隔振系統(tǒng)。Electro-Damp II是對原始系統(tǒng)的*全重新設(shè)計，增加了模塊化、數(shù)字控制、前饋、高力/高間隙執(zhí)行器以及多個專門設(shè)計用于OEM應用（如顯微光刻、檢測和計量工具）的數(shù)字用戶界面。

半導體制造工具對其隔振系統(tǒng)提出了相互矛盾的要求。為了應對地面噪音，系統(tǒng)必須足夠柔軟，以有效地過濾地面振動，阻止其到達隔振表面。同時，系統(tǒng)必須足夠堅硬，以應對工作臺的力，以便工作臺運動使隔振表面產(chǎn)生最小位移并能快速穩(wěn)定。

除了采用慣性、主動反饋阻尼之外，Electro-Damp II還使用信息前饋來進一步改善系統(tǒng)響應。前饋從工作臺控制器獲取關(guān)于工作臺位置和加速度的信息，然后處理這些數(shù)據(jù)，以向有效載荷提供力驅(qū)動，從而大大減少了由工作臺引起的有效載荷運動。系統(tǒng)可以以數(shù)字方式讀取前饋信息，作為雙極性模擬信號，或通過讀取正交編碼器的輸出。DC-2000數(shù)字控制器還可以使用工作臺測試模式自動調(diào)整前饋所需的參數(shù)。這使得在初始安裝時或在更改有效載荷之后能夠快速簡便地進行設(shè)置。

Electro-Damp II的模塊化設(shè)計允許系統(tǒng)單獨與電子伺服閥一起使用（適用于重型、低加速度應用，如CMM）、只與電磁驅(qū)動一起使用（適用于使用高加速度的較輕工作臺）或與兩者結(jié)合使用（適用于*苛刻的應用）。

TMC主動空氣消振器Electro-Damp II特點

●六自由度主動減振系統(tǒng)

●非接觸式電子高度控制

●數(shù)字控制器

●前饋輸入校正由工作臺引起的有效載荷運動

●高力電磁執(zhí)行器可單獨提供或被集成在系統(tǒng)中

●減少有效載荷運動和由工作臺引起的運動的穩(wěn)定時間

●提高吞吐量、分辨率和產(chǎn)量

●模塊化設(shè)計允許用戶*定一個完整的單元或組件，以便OEM集成

●自動調(diào)整前饋參數(shù)以減少設(shè)置

規(guī)格

應用說明

Electro-Damp®

在Precitech的Freeform L超精密機床上使用PEPS II-VX進行3軸（XYZ）測量