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Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌Freiberg Instruments

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海市

更新時間:2024-11-02 11:22:06瀏覽次數(shù):99次

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應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀
晶錠XRD有著優(yōu)良的XRD系統(tǒng),用于單晶晶錠的自動定向、傾斜和對準(zhǔn)研磨。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。

Ingot XRD - 晶錠X射線定向儀


產(chǎn)品特點(diǎn)

晶錠XRD有著優(yōu)良的XRD系統(tǒng),用于單晶晶錠的自動定向、傾斜和對準(zhǔn)研磨。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。

詳細(xì)介紹


產(chǎn)品介紹:

主要里程碑:        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團(tuán)亞瑟·布拉達(dá)切克和他的兒子漢斯·布拉達(dá)切克創(chuàng)立。

◆  1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測計(jì)數(shù)裝置,名為 COUNTIX 130。

◆  1989 - 開發(fā) Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統(tǒng) -    振蕩器產(chǎn)量從 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉(zhuǎn)移到其他材料,如SiC、藍(lán)寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金

◆  2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線衍射儀 ( DDCOM ) 

全 球售出 約 150臺石英分選系統(tǒng)

◆  2015 - X 射線技術(shù)和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH        


晶錠XRD的特點(diǎn):        

◇   精度高        

◇   測量速度快: < 5秒/樣品        

◇   典型的標(biāo)準(zhǔn)偏差傾斜度(例如:Si 100):< 0.003 °,極小< 0.001 °。        

◇   晶錠的自動對準(zhǔn)        

◇   膠片的自動定位        

◇   光學(xué)測量晶錠和/或研磨原錠的幾何特征(平邊Flat、凹槽Notch位置)        

◇   晶錠的自動標(biāo)記        

◇   易于集成到工藝線中(手動或機(jī)器人裝載)。        

◇   數(shù)據(jù)矩陣代碼(DMC)閱讀器        

◇   MES接口;SECS/GEM或類似接口        

◇   直徑達(dá)300毫米,長度達(dá)520毫米的晶錠        


Ingot XRD prepared for manual loading    






Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀


產(chǎn)品特點(diǎn)

Omega/Theta XRD用于超快速的晶體定向、生產(chǎn)中的晶體排列、質(zhì)量控制、搖擺曲線測量、材料研究等。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。

詳細(xì)介紹


產(chǎn)品介紹:

Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
     

主要里程碑:

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團(tuán)亞瑟·布拉達(dá)切克和他的兒子漢斯·布拉達(dá)切克創(chuàng)立。

◆  1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線檢測計(jì)數(shù)裝置,名為 COUNTIX 130。

◆  1989 - 開發(fā) Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統(tǒng) -    振蕩器產(chǎn)量從 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉(zhuǎn)移到其他材料,如SiC、藍(lán)寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金  

◆  2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線衍射儀 ( DDCOM )

全 球售出 約 150臺石英分選系統(tǒng)

◆  2015 - X 射線技術(shù)和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH



產(chǎn)品優(yōu)勢:

◆  采用Omega-scan掃描方法

◆  測試速度快: 5s

◆  測角精度高: 0.003

◆  兼具XRD定向功能以及Flat/Norch功能

◆  磨拋定向解決方案

◆  擁有晶錠粘接轉(zhuǎn)移的技術(shù)(堆垛 stacking)專為SiC工業(yè)設(shè)計(jì),被多家SiC襯底頭部企業(yè)青睞,如:II-VI Advanced Materials, SiCrystal等,國外四分之三的碳化硅制造商依賴Freiberg Instruments公司的晶體取向測量技術(shù),極大提高了生產(chǎn)效率,提升產(chǎn)品質(zhì)量。

◆  Mapping 面掃功能,搖擺曲線測定

◆  易于集成到工藝線中

◆  MES和/或SECS/GEM接口

◆  傾斜的典型標(biāo)準(zhǔn)偏差(例如:Si 100):< 0.003 °,小于< 0.001 °


Omega/Theta X射線衍射儀是一個全自動的垂直三軸衍射儀,用于使用Omega-Scan和Theta-Scan方法對各種晶體進(jìn)行取向測定和搖擺曲線測量。大而寬敞的設(shè)計(jì)可以容納長度達(dá)450毫米、重量達(dá)30公斤的樣品和樣品架。

所有的測量都是自動化的,可以從用戶友好的軟件界面上的訪問。使用Omega掃描,可以在晶體旋轉(zhuǎn)時(5秒)確定完整的晶格方向。Theta掃描更加靈活,但每次掃描只能得到一個取向成分。

傾斜角可以以非常高的精度確定;使用Theta掃描可以達(dá)到0.001°。對于所有其他晶體方向,精度取決于與表面垂直的角差。

該系統(tǒng)是模塊化的,已經(jīng)配備了許多不同的擴(kuò)展,用于特殊的目的,如形狀或平面的確定、繪圖和不同的樣品架。樣品的傾斜是通過光學(xué)測量檢測出來的,并可用于校正所產(chǎn)生的方向。


單晶衍射儀定向儀:

◆  全自動完整的單晶體晶格取向測量

◆  使用歐米茄掃描法進(jìn)行超快速的晶體取向測量

◆  自動搖動曲線測量功能

◆  衍射儀的角度分辨率:0.1角秒。

◆  樣品尺寸可達(dá)450毫米

◆  適用于生產(chǎn)質(zhì)量控制和研究



用戶友好,成本效益高:

◆  方便的樣品處理,易于操作

◆  優(yōu)良的、用戶友好的軟件

◆  能源消耗和運(yùn)行成本低

◆  模塊化設(shè)計(jì),靈活性強(qiáng)

◆  各種升級選項(xiàng)

◆  根據(jù)用戶的要求進(jìn)行定制


選配功能:

◆  自動Mapping面掃功能

◆  Omega/Theta – 晶錠粘接轉(zhuǎn)移的技術(shù)(堆垛 stacking)

◆  Omega/Theta - 搖擺曲線測量

◆  Omega/Theta - 定制的樣品臺

◆  用于樣品形狀測量的激光掃描儀

◆  光學(xué)檢測,用于平面和凹槽檢測

◆  額外的樣品旋轉(zhuǎn)軸用于3D繪圖

◆  二級通道切割準(zhǔn)直器(分析器)

◆  用于樣品調(diào)整的設(shè)備



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