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當前位置：上海富瞻環保科技有限公司>>氣體檢測儀>>氣體報警器/監測系統>> XPS-7Ⅱ半導體材料氣體檢測儀
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環保,化工,生物產業,地礦,能源 |
|---|
檢測對象
檢測范圍
檢測原理
檢測方式
應用行業
01.產品特點
· 只需要更換傳感器單元就可以檢測各種對象氣體
· 用盒式傳感器單元無需進行氣體檢測器校正
· 可以大幅度削減成本和維護時間
02.產品用途
· 半導體工廠/石油化學工廠等
· 在使用半導體材料氣體/毒性氣體的現場進行泄漏檢測
03.對象氣體.
產品參數
| 型號 | 氣體 | 滿量程 |
| XDS-7NH | NH3 | 100ppm |
| XDS-7SH | SiH4 | 25ppm |
| XDS-7DC | SiH2Cl2 | 25ppm |
| XDS-7AH | AsH3 | 250ppb |
| XDS-7PH | PH3 | 1ppm |
| XDS-7BH | B2H6 | 500ppb |
| XDS-7SE | H2Se | 250ppb |
| XDS-7GH | GeH4 | 1ppm |
| XDS-7CL | Cl2 | 5ppm |
| XDS-7CF | ClF3 | 1ppm |
| XDS-7HC | HCl | 25ppm |
| XDS-7HF | HF | 10ppm |
| XDS-7HB | HBr | 10ppm |
| XDS-7NO | NO | 100ppm |
| XDS-7HS | H2S | 50ppm |
| XDS-7CO | CO | 250ppm |
| XDS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
| XDS-7F2 | F2 | 5ppm |
| XDS-7OZ | O3 | 1ppm |
| XDS-7SD | SO2 | 10ppm |
| XDS-7ND | NO2 | 10ppm |
| XDS-7NF | NF3 | 100ppm |
04.產品參數
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