詳細介紹
實驗室勻膠機型號:KW-4A
實驗室勻膠機
(Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。
詳細介紹: 勻膠機(英文名:Spin Coater)
行業俗稱:勻膠臺,甩膠機,涂膠機,鍍膜機,涂層機,旋涂機,旋涂儀等。
產品概述:
適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆. 勻膠機穩定的轉速和快速的啟動,可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是KW型均勻膠機的特點.
在這方面采取了許多技術:
(一)使用進口配件(韓國定子和轉子,美國電機)使高轉速加速度更加穩定,控制更加精確.
(二)定子和轉子分開供電.定子用穩定電源供勵磁電流,轉子用開關電源調速,它比可用控硅調速*得多,轉速在1000~8000轉/分范圍內非常穩定.在未取得真空的狀態不會轉到,保證了使用的可靠性.
(三)本勻膠機有兩個轉速.在啟動之后,先以低速運轉,使膠攤開,然后自動變到高速運轉.兩種轉速及相應的時間分別可調.
(四)本勻膠機測速采用光電的辦法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍,盤邊的下面安裝有光電開關,光源照到光電經反射到接收器,產生光電脈沖,測速盤旋轉一周,產生三個脈沖.閘門由秒脈沖電路產生,周期為兩秒.當馬達旋轉時,如果計時器在2秒內計的得數是n,則每分鐘應該轉了n/(2x3)=n/6轉,每分鐘旋轉(n/6)x60=10n轉.故計數器就是每分鐘轉速,只不過差一個數量級.
(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作,提高了效率.
(六)勻膠機的定時功能由時基電路556來完成,把556按單穩形式連接,改變RC常數,就可以改變兩個勻膠時間.
(七)智能型調節勻膠時間,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘.
(八)在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調節轉速調節涂覆厚度.
(九)勻膠機配真空泵使用(推薦配套使用雙級無油環保真空泵 SK-65C型)
性能指標:
產品特色 ·
具有電機進膠保護功能;
數字按鍵,轉速與時間設定方便、精確;
增加按鍵互鎖功能,防止誤操作飛片;
增加無油泵控制開關,泵啟停控制方便,有效減少泵的發熱及噪聲。
性能參數
勻膠機功率 100W,
勻膠均勻性±2%,
機械泵功率 350W,
抽速≥60L/MIN;
電機閉環控制,轉速兩檔可設,
高速范圍:1000-8500RPM,
低速范圍:500-8500 RPM;
電機運行時間兩檔可設,
高速時間范圍:0-999S,
低速時間范圍:0-999S;
電機轉速穩定度:±1%,
電機定時精度:±20PPM;
轉速顯示:范圍 0-9990 轉/分、精度±10R/Min,
時間顯示:范圍 0-999S、
精度±20ppm;
寬電壓適用:
單相 AC100-240V 輸入;
外型尺寸:210mm(W)×240mm(D)×180mm(H);
產品質量:勻膠機 6.5 KG,
機械泵 9KG;
適用基片:Φ5-Φ100mm 圓片及方片。