1）  按液壓放大級數可分為單級MOOG伺服閥，兩級MOOG伺服閥，三級MOOG伺服閥。

2）  按液壓前置級的結構形式，可分為單噴嘴擋板式，雙噴嘴擋板式，滑閥式，射流管式和偏轉板射流式。

3）  按反饋形式可分為位置反饋式，負載壓力反饋式，負載流量反饋式，電反饋式。

4）  按電機械轉換裝置可分為動鐵式和動圈式。

5）  按輸出量形式分為流量伺服閥和壓力控制伺服閥。

1）力矩馬達部分

  a.線圈斷線：引起閥不動，無電流。

  b.銜鐵卡住或受到限位：原因是工作氣隙內有雜物，引起閥門不動作。

  c.球頭磨損或脫落：原因是磨損，引起伺服閥性能下降，不穩定，頻繁調整。

  d.緊固件松動：原因是振動，固定螺絲松動等，引起零偏增大。

  e.彈簧管疲勞：原因是疲勞，引起系統迅速失效，伺服閥逐漸產生振動，系統震蕩，嚴重的管路也振動。

  f.反饋桿彎曲：疲勞或人為損壞，引起閥不能正常工作，零偏大，控制電流可能到最大。

2）噴嘴擋板部分

  a.噴嘴或節流孔局部或全部堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨降率低，嚴重的引起系統不穩定。

  b.濾芯堵塞：原因是油液污染。引起頻響下降，分辨率降低嚴重的引起系統擺動。

3）滑閥放大器部分

  a.刃邊磨損：原因是磨損，引起泄露，流體噪聲大，零偏大，系統不穩定。 

  b.徑向濾芯磨損：原因是磨損。引起泄露增大，零偏增大，增益下降。

  c.滑閥卡滯：原因是油液污染，滑閥變形。引起波形失真，卡死。

4）其他部分

    密封件老化：壽命已到或油液不符。引起閥內外滲油，可導致伺服閥堵塞。