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工業中常見的泄漏檢測方法有

• 水檢測試法

• 壓降/壓差測試法

• 氫氣測試法 

• 氦氣泄漏測試

水檢測試法：

該方法是將充滿氣的部件放入水中，看氣泡出來。

在泄漏0.06sccm下，每秒在理想的情況下能夠產生一個泡。現實當中，氣泡不能夠很簡單的離開元件表面，所以這種檢漏方法一般只能到達0.6sccm.限制了該方法的工業應用。

壓降/壓差測試法：

工業中目前普遍采用的是壓力衰減模式，測試工件內充入規定的測試壓力的空氣或者氮氣，經過一段時間的穩定，測試壓力的下降，根據產品的容積計算出泄漏流量，計算公式如下：

壓力泄漏測試法，有以下因素干擾：

√ 溫度問題

√ 不適用于柔性測試樣本

常壓腔氦或氫累積泄漏檢測法：

方法是在非真空狀態下通過簡單累積室進行的。與空氣測試不同，INFICON 累積法的測試結果不受溫度或濕度的影響，產生極其可靠的測試結果，具有很高的可重復性。

√ 常壓下的檢漏技術

√ 簡易、低成本累積腔體

√ 檢漏精度到達10-5mbar.l/s

真空箱氦泄漏檢測法：

產品工件充入對應的檢測壓力，外部腔體抽空，泄漏出來的氦氣被檢漏儀抓取，檢測出泄漏量。

氦或氫吸槍泄漏檢測法：

使用示蹤氣體的方法：吸槍法

• 總是由內外

• 遠距離高速度的高吸氣氣體流量

• 適用于定位漏率點

• 或已知道漏率大概位置

各種方法檢測精度比較

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