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Horiba質量流量計 D500

· 壓力不敏感性能

高性能壓力補償新功能簡化了供氣系統

· 多量程、多氣體、多壓力解決方案

新功能允許用戶改變氣體類型、滿量程流量和供壓范圍

· G-LIFE（集成限流器方程的氣體定律校驗）自診斷功能

先進的工藝健康監控功能允許操作人員自行進行測試，即使提高通過量，通常也能在三秒或更短的時間內完成測試。

· 高精度

先進的三維調整功能提高了工藝氣的流量精度

· 快速響應

響應時間：< 0.8 秒

可實現精確、穩定的流量控制

· 動態范圍

控制范圍廣：0.2% 滿量程 至 100% 滿量程

Horiba質量流量計 D500

質量流量控制器： 質量流量控制器是一種可直接測量氣體的質 量流量并進行流量控制的設備。

不因環境溫 度和使用壓力等條件的變化而改變，可實現 高精度且穩定的流量控制，應用于各種工業 領域。

HORIBA 集團向遍布全球各地的用戶大量提供具有先進水平的分析儀器系統及系列產品。

應用范圍從汽車 發動機尾氣排放檢測的研發到過程及環境監測，體外醫療檢測，半導體制造和計量，涉及范圍從科技研發到質 量控制測量。

實踐證明，質量和值得信賴的性能贏得廣大用戶對 HORIBA 集團品牌的信任。 半導體事業部以尖銳的目光關注著半導體、FPD、LED、太陽能、光纖等細微世界的發展。

由研發專家展開研究與開發以支持半導體制程工藝中對不同流體控制技術的需求。

為滿足不同市場、不同 工藝需求，半導體事業部亦能提供切合客戶需求的不同產品以實現匹配工藝需求。