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GFM/GFC 氣體質量流量計
量程達1000L/min，可跟蹤的NIST證書
流量比率不受溫度和壓力變化的影響
高精度和高重復性
3位數字的液晶顯示
包括一份NIST跟蹤記錄證書
可與GFT流量累計器一起用于測定累計流量
GFM/GFC 氣體質量流量計
GFC能控制流量比率，設置點通過現場電位器
或通過一個遠程的0到5VDC或4到20mA
模擬信號來進行調整。
GFM/GFC 氣體質量流量計
規格
介 質：與接液部件兼容的清潔氣體
接液材質： GFM/GFC-S1XXX:
鋁, 銅,316不銹鋼 和Viton® O型圈;
GFM/GFC-S2XXX:
316不銹鋼 和Viton® O型圈
精 度： 滿量程時±1.5%包括線性以上
在5-25°C和0.35-4bar條件下
重 復 性： 滿量程的±0.5%
反應時間： 實際流量的±2%以內是2秒
輸 出： 線性0-5VDC和4-20mA
zui大微粒尺寸： 5微米
工作溫度： 32-122°F (0-50°C)
電 源： ±12VDC
過程連接： 流速≤50L/m卡套接頭是1/4″；
100和200L/m是3/8″；
500L/m是1/2″； 1000L/m是3/4″
壓力范圍： 500psig(34.5bar)
泄 漏 率： 氦氣的1 x 10-7 sccs
顯 示 器： 可90°傾斜，3-1/2數字
認 證： CE
流量范圍 | GFM流量計 | GFC流量控制器 | ||
鋁 | 不銹鋼 | 鋁 | 不銹鋼 | |
0-10 SCCM | GFM-S1101 | GFM-S2101 | GFC-S1101 | GFC-S2101 |
0-20 SCCM | GFM-S1102 | GFM-S2102 | GFC-S1102 | GFC-S2102 |
0-50 SCCM | GFM-S1103 | GFM-S2103 | GFC-S1103 | GFC-S2103 |
0-100 SCCM | GFM-S1104 | GFM-S2104 | GFC-S1104 | GFC-S2104 |
0-200 SCCM | GFM-S1105 | GFM-S2105 | GFC-S1105 | GFC-S2105 |
0-500 SCCM | GFM-S1106 | GFM-S2106 | GFC-S1106 | GFC-S2106 |
0-1 L/min | GFM-S1107 | GFM-S2107 | GFC-S1107 | GFC-S2107 |
0-2 L/min | GFM-S1108 | GFM-S2108 | GFC-S1108 | GFC-S2108 |
0-5 L/min | GFM-S1109 | GFM-S2109 | GFC-S1109 | GFC-S2109 |
0-15 L/min | GFM-S1111 | GFM-S2111 | GFC-S1111 | GFC-S2111 |
0-30 L/min | GFM-S1131 | GFM-S2131 | GFC-S1131 | GFC-S2131 |
0-50 L/min | GFM-S1133 | GFM-S2133 | GFC-S1133 | GFC-S2133 |
0-100 L/min | GFM-S1142 | GFM-S2142 | GFC-S1142 | GFC-S2142 |
0-200 L/min | GFM-S1143 | GFM-S2143 | GFC-S1143 | GFC-S2143 |
0-500 L/min | GFM-S1144 | GFM-S2144 | GFC-S1144 | GFC-S2144 |
0-1000L/min | GFM-S1145 | GFM-S2145 | GFC-S1145 | GFC-S2145 |
量程是相當于氮氣在21°C@ 760 毫米汞柱的流量
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