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上海方未機械設備有限公司
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海德漢新一代電子和半導體生產技術
2024-5-28 閱讀(1081)
海德漢新一代電子和半導體生產技術
HEIDENHAIN海德漢高精度和高產出：詳細了解在HEIDENHAIN 2024半導體活動上亮相的電子和半導體生產的全新解決方案。
海德漢全面提高精度：多達六自由度的編碼器
我們以多自由度技術為基礎設計開發的編碼器可反饋一個以上自由度的位置。附加的反饋信號可顯著提高測量精度，檢測其它方向運動的位置誤差并進行補償，避免影響系統。采用此創新技術的編碼器包括PP 6000 Dplus二維編碼器、LIP 6000 Dplus直線編碼器和GAP 1000間隙測量編碼器。
PP 6000：兩個測量方向，達到更高精
阿貝（Abbé）誤差影響機床精度。阿貝（Abbé）誤差通常難以測量，而PP 6000 二維編碼器可測量此誤差。這款編碼器只需一個讀數頭同時測量兩個方向，測量面尺寸達464 mm x 464 mm，如果需要更大測量面尺寸，可根據需要提供。直接測量刀具中心點，最大限度減小阿貝（Abbé）誤差，提高設備精度。EnDat 3接口在一條電纜中傳輸兩路位置反饋信號，因此，可減少電纜數量和減輕設置工作。PP 6000 編碼器優化運動系統的動態性能。
LIP 6000 Dplus : 1條柵尺，1個讀數頭，2個自由度
LIP 6000 Dplus在一個光柵基體上提供兩條獨立的光柵刻軌，交叉角為+45°和–45°。專用的掃描場讀數頭直接掃描每一條光柵，在測量范圍的全長上沿X軸主方向和Y軸輔助方向精確進行測量。接口為EnDat 3，因此可用一條電纜將兩組位置值發給控制系統。顯著簡化電纜連接，簡化編碼器安裝和提高運動系統動態性能。
輕松檢查設備精度：基于LIP 6000 Dplus的校準工具
我們提供以LIP 6000 Dplus為基礎的校準工具，可用其隨時檢測和調整設備。設備的校準并非日常任務，用戶可租用我們的校準工具，這是HEIDENHAIN的一項服務，用戶無需購買和持有自己的校準工具。我們提供認證的校準工具，在需要時可方便地用其檢查系統精度。
GAP 1081: 平面外間隙測量
海德漢全新的間隙測量編碼器GAP 1081。可測量特殊鏡面與讀數頭間的垂直間隙。因此，可用GAP 1081進行簡單的垂直位置測量。也可以安裝在平行于直線光柵尺的方向上，例如LIP 6000 Dplus，在直線軸方向上連續進行垂直測量。GAP 1081的鏡面長度可達3 m。如果在鏡面上使用兩個讀數頭，則可同時測量直線軸的俯仰和偏向。
海德漢MRP 8081 Dplus：充分發揮編碼器的精度優勢
盡管編碼器提供認證的精度和精度檢定圖，但在應用中也可能無法充分發揮精度優勢。原因多種多樣，特別是編碼器被安裝在剛性不足的部件上時。MRP 8081 Dplus提供可轉移精度，確保在應用中最大限度達到的精度。此技術使用了以下特性：
海德漢高剛性的軸承
四個讀數頭
為控制系統提供全套校準數據
MRP 8081 Dplus提供這些特性，在給定安裝條件、擺動負載或其它外部條件下，例如振動、突發的機械負載和溫度波動，系統精度可達±0.2角秒。提高精度和工作性能，在不犧牲精度的條件下達到更高電機轉速。
除高精度角度測量外，MRP 8081 Dplus的四個讀數頭還能測量軸的徑向導向誤差。未來，專用的電子電路可分析四路讀數頭信號，補償這些誤差。
重負載軸：不受齒槽扭矩或徑向力影響
海德漢MRP角度編碼器模塊與ETEL力矩電機珠聯璧合共同打造平滑性的運動控制系統。無論齒槽扭矩還是徑向力對軸承的導向精度都沒有影響。我們還提供SRP 5000角度編碼器模塊，這是一款緊湊、超薄和高剛性的角度編碼器。其部件的高剛性還能確保在變化的負載條件下達到一致的高精度。
HEIDENHAIN為高動態性能旋轉軸開發敞開式編碼器：ERO 2000，現在提供多自由度技術的ERP 1080 Dplus
電子和半導體生產是高速發展的行業。HEIDENHAIN不斷開發敞開式編碼器，滿足高速發展要求。ERO 2000增量式角度編碼器就是這樣一款產品，這款編碼器專用于空間有限和高動態性能的應用，例如掃描振鏡。而且，ERP 1000精度高和分辨率高。ERP 1080 Dplus是此產品線中的一款產品，含四個讀數頭，其工作可靠性和安裝優點與MRP 8081 Dplus角度編碼器模塊相同。
總線式工作的EnDat 3接口：高速，易用，經濟
要實現系統的緊密集成，同時面向未來的數字化時代，包括總線式工作要求，EnDat 3是編碼器接口的理想選擇。EnDat 3可為自動化系統減少連接電纜數量，可提供豐富的診斷功能，可實現更高安全性和可靠性。該接口提供通用型通信技術，可傳輸豐富的數據，不僅包括位置反饋數據，還包括傳感器數據、系統監測數據和自動配置數據。
高動態性能直驅電機的理想選擇：RSF靈活的模塊型光柵尺和編碼器
RSF的直線光柵尺和角度編碼器采用模塊化設計，應用靈活，可輕松集成在應用系統中。這些光柵尺和角度編碼器支持大量不同接口，可輕松連接常用的控制系統和支持不同的物理設計。其它獲益還包括寬松的安裝公差和易于安裝。RSF的全新MCR 16角度編碼器可達更高信號質量。
LIC 3000：高動態性能直線軸的海德漢敞開式直線光柵尺
LIC 3000系列光柵尺是繼LIC 4000系列和LIC 2000系列敞開式絕對直線光柵尺之后的又一個產品線。LIC 3000測量步距僅10 nm，運動速度可達600 m/min。LIC 3000直線光柵尺可進行直線軸高動態性能和高精度位置測量，測量長度可達10 m。
LIC 3000的大型掃描場可有效提高抗污性能。測量基準的局部污染對信號質量和測量穩定性的影響十分有限。由于LIC 3000系列敞開式直線光柵尺動態性能高，測量長度大和堅固耐用，因此，這款光柵尺應用靈活，在更多的應用中都能充分發揮LIC光柵尺的優勢。
超薄直線光柵尺：NUMERIK JENA的LIKgo和LIKselect
NUMERIK JENA LIKgo和LIKselect敞開式直線光柵尺是狹小安裝空間和高精度應用的理想選擇。
標準型的LIKgo光柵尺的突出特點是體積小，重量輕。讀數頭尺寸僅28 mm x 13 mm x 7.5 mm和重量僅10 g。這款光柵尺采用新開發的20 µm柵距的兩場掃描技術，測量步距可達78.125 nm的精度，并提供高質量信號和優異的抗污性能。
為滿足量身定制要求，LIKselect光柵尺結合NUMERIK JENA的Kit L系列優點，可以靈活配置編碼器功能特性，滿足個性化的應用需求。
海德漢新一代電子和半導體生產技術
