擴散硅壓力變送器DBYG-6000/ST501自儀一廠概述

被測介質的壓力直接作用于傳感器的陶瓷/擴散硅膜片/上，使膜片產生與介質壓力成正比的微小位移，正常工作狀態下，膜片最大位移不大于0.025毫米，電子線路檢測這一位移量后，即把這一位移量轉換成對應于這一壓力的標準工業測量信號。超壓時膜片直接貼到堅固的陶瓷基體/擴散硅上，由于膜片與基體的間隙只有0.1毫米，因此過壓時膜片的最大位移只能是0.1毫米，所以從結構上保證了膜片不會產生過大變形，該傳感器具有很好的穩定性和高可靠性。

擴散硅壓力變送器DBYG-6000/ST501自儀一廠主要特點

1、穩定性高-每年優于0.1%滿量程。

2、溫度偏移小-由于取消了測量元件中的中介液，因而傳感器不僅獲得了很高的測量精度.

3、可靠性好-采用大規模IC，電路可靠性好，抗干擾性能強。

4、適用性廣-產品具有多種型號，多種過程連接形式，可適應工業測量中的各種介質。

5、安裝維護簡便產品結構合理，體積小,重量輕，可直接任意位置安裝。

缺點是:

1. 低于0℃后，溫度穩定性大幅度降低

2. 不能承受動態壓力

3. 膜片較易損傷

1.可做到極低壓力

2.抗過載能力強

3.精度高

1. 高壓測量缺乏優勢

2. 傳感器封裝工藝要求高

擴散硅壓力變送器

20世紀90年代中期，美國Icscnsor，公司,Nova公司應用硅品石和硅品片益合兩項科技生產了新型擴散硅壓力傳感器并開發出具有精度高、重復性小、抗腐蝕的擴散硅壓力變送器

過程壓力通過隔離膜片、密封硅油傳輸到擴散硅膜片上，同時參考端的壓力(大氣壓)作用于膜片的另一端。這樣膜片兩邊的壓差產生一個壓力場，使膜片的一部分壓縮。另一部分拉伸，在壓縮區和拉伸區分別有兩個應變電阻片，以感受壓力引起的阻值的變化，從而將壓力信號轉換為電信號.擴散硅在低溫零度以下、高溫85℃以上難以正常使用，也不適用于20MPa以上的高壓。