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一直以來,高品質的顯微鏡組件都是用戶所值得信賴的“工作伙伴“,高效實用也一直都是Evident在顯微鏡組件開發上的追求。作為BX顯微鏡系列的一部分,全新BXC顯微鏡組件正式與大家見面,其結構緊湊,專為OEM集成和開發而設計。
同時,全新BXC系列顯微鏡組件,將以其多功能性和模塊化構建,成為檢測或成像應用的理想選擇,無論是晶圓對準、凸塊測量還是圖像拼接,都可自如應對。
系統設計和自動化高級選項,
效率再提升
多功能定向暗場
暗場用于觀察來自樣品的散射或衍射光(例如:鏡面或半導體晶圓上的劃痕或缺陷),而MIX滑塊無需專用的暗場光學組件,并通過16個可單獨控制的LED增強了傳統暗場,使您能夠控制照射在樣品上的光線方向。此外,這種通過使用MIX滑塊實現的定向暗場技術,可以與明場、簡單偏光或熒光觀測相結合。
自動對焦裝置
在BXC-FSU中,1級激光器使用主動多點傳感來監測焦點位置的方向和焦點狀態。這種傳感器針對低對比度的樣品(如裸晶圓)效果很好。算法可輸出穩定的對焦信號,而不受物鏡放大倍率和周邊光線所造成噪音的影響。命令參考手冊、指導手冊和示例軟件,之后可在我們的網站上自行下載。
多種多樣的物鏡轉盤
隨著自動化需求的增加,對電動物鏡轉盤的需求也隨之增加。隨著自動化需求的增加,對電動物鏡轉盤的需求也隨之增加。現在,U-D5BDREMC-VA 1級無塵室兼容電動物鏡轉換器,將使用抽真空方式來清除灰塵和其他顆粒。
系統集成化,
快速、簡單
BXC-CBRML和BXC-CBB控制盒占地面積小,無風扇,有多種安裝方式(例如可安裝到設備罩殼內的側壁或頂部)
根據控制盒的不同,可將MIX滑塊、明暗場照明器、電動物鏡轉盤和LED光源等功能集成在一起,并使用您的軟件進行控制。