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2024 SEMICON CHINA | AI技術助力半導體行業,如虎添翼檢測效率再升級

閱讀:328      發布時間:2024-3-21
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熬過疫情,走過2023,中國半導體產業已經進入了復蘇的節奏之中,無論是科技行業的產業終端還是半導體行業整體,需求規模都呈現出了上升向好的趨勢。伴隨著需求的上升,高質量的芯片的需求也成為了剛需,更為精細高效的檢測設備及檢測方案已經成為了明確的訴求。


Evident作為專業的光學儀器、檢測設備及解決方案提供商,針對半導體行業所產生的新需求不斷進行探索,為半導體行業輸出了不少高效的定制化解決方案,為行業發展添磚加瓦。


2024年SEMICON CHINA,我們一起來看看Evident又帶來了什么驚喜給大家!


本次SEMICON,Evident再度攜旗下諸多旗艦產品,為半導體行業的客戶解決在各使用場景的不同檢測需求。


DSX1000數碼顯微鏡

AI助力如虎添翼


一直以來,顯微鏡都是晶圓檢測的重要工具,也是檢測流程中可以提升效率的一個切入點。而在晶圓檢測的流程中,需要多次更換鏡頭進行檢測,無疑成為了影響效率的一大痛點。

(DSX1000應用現場分享)


DSX1000數碼顯微鏡中的多款物鏡都支持多種觀察方式,可方便用戶快速確認及選擇各類觀察圖像。配合多功能控制臺,可同時查看六種觀察方式下的樣品,極大程度上提升了觀察效率。搭配遠心光學系統,使檢測結果的準確性有了保證。

本屆SEMICON中,Evident還創新展示了《顯微鏡最新AI解決方案》,并在DSX1000上展示AI閾值的一些應用案例(金剛線、不良品檢測),并且將AI 閾值與傳統閾值的結果同時顯示在顯示屏上,會給觀眾更加直觀的感受。


OLS5100 3D測量激光顯微鏡

智能高效二者兼得


芯片制造工藝在近年飛速提升,這也對檢測的精度及效率提出了更高效率的要求。OLS5100 3D測量激光顯微鏡能夠兼顧智能檢測的同時,還保證了檢測的精度。

OLS5100 3D測量顯微鏡具備了亞微米3D觀察和表面粗糙度測量高水平的準確性和精度,可以為用戶穩定輸出可靠的數據。配套的智能實驗管理助手能夠自動執行需要耗費大量時間的任務,讓分析工作流程更加簡單。操作員只需將樣品放在載物臺上,按下開始鍵即可針對待測樣品進行精細的形貌測量。


MX63L顯微鏡+AL120晶圓搬送機

大尺寸樣品檢測無憂


在半導體生產過程中,對檢測準確度的高要求毫無疑問非常關鍵。然而,對于檢測工作的靈活性需求也正變得日益重要。在這一背景下,MX63L顯微鏡與AL120晶圓搬送機的結合,于眾多明星產品中脫穎而出,特別適用于大尺寸樣本的檢測。這一組合可在高質量檢測領域顯示出其優勢,提供了靈活、便捷、高效的檢測解決方案。

MX63L顯微鏡借助其高級照明功能,能夠同時展示晶圓的電路圖樣和顏色信息,提高了圖像的銳度和清晰度,從而提升了工作效率和報告生成的質量。結合AL120晶圓搬送機,可以快速且安全地將半導體晶圓從存儲盒中轉移到顯微鏡的載物臺上。得益于360度自動旋轉功能,檢測人員可以輕松地對晶圓的正反兩面進行全面檢測,便于識別任何缺陷或塵埃。


全自動顯微鏡BXC系列組件

模塊化助力效率升級


這一系列專注于提供高品質的全電動顯微鏡組件,其緊湊的結構和自動聚焦模塊,專為OEM集成和開發設計。其多功能性和模塊化設計使其成為檢查和成像應用的理想選擇,包括晶圓對準、缺陷檢測和圖像拼接等多種工作流程。

多功能定向暗場功能,通過使用MIX滑塊實現的定向暗場技術,可以與明場、簡單偏光或熒光觀測相結合。此外,自動對焦裝置、各類物鏡轉盤等組件,可根據實際檢測需求進行調整,讓定制化檢測需求成為可能。


大屏互動

引爆現場


本次SEMICON現場,我們采用了活動方式,吸引了諸多現場參展觀眾駐足,各類精彩定制好禮,為展會增添了別樣的趣味。

Evident相信,伴隨著半導體行業蒸蒸日上的、更有技術的突破以及檢測方式的創新,在中國半導體行業成長路上,Evident會繼續堅定的提供優質的產品及完善的解決方案。


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