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鐵電自放電測試儀 aixPES-DR
(aixPES Self-Discharge Measurement )

本設備主要用來研究電介質材料的自漏電性。
由于測試條件非常接近實際情況，因此通過這種方式可容易地測試應用于DRAM材料的合適性。

技術說明： 

電壓脈沖發生器：

· 最大電壓放大: +/- 10 V；

· 最小脈沖長度：50 ns；

· 最大脈沖長度：640 μs。

開關性能：  

· 激勵弛豫時間<2ns；

· Ron< 50 ?；

· Roff >1013 ?。

高阻抗電流計：

· 輸入阻抗：1013 ?；

· 輸入電容：30 fF。

本設備主要用來研究電介質材料的自漏電性。
由于測試條件非常接近實際情況，因此通過這種方式可容易地測試應用于DRAM材料的合適性。

技術說明：