型號:AODG-ETD-2000C
是依據二極(DC)直流濺射原理設計而成的,Z簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。同時增加了熱蒸發附件,具有濺射和蒸發兩種功能
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更新時間:2016-08-10 10:59:03瀏覽次數:687
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濺射蒸碳儀 掃描電鏡實驗室樣品制備蒸發儀 濺射蒸碳分析儀
型號:AODG-ETD-2000C
是依據二極(DC)直流濺射原理設計而成的,zui簡單、可靠、經濟的鍍膜設備。同時增加了熱蒸發附件,具有濺射和蒸發兩種功能。
滿足電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備和非導體材料實驗電極制作。
特點:
增加了熱蒸發附件,可以蒸發碳絲,具有濺射和蒸發兩種功能。因此擴展了應用范圍,特別適用于掃描電鏡實驗室樣品制備。
配置參數:
- 儀器尺寸 : 400mm×300mm×400mm(L×W×H)
- 真空樣品室: 硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm(D×H)
- 靶(上部電極): 50mm×0.1mm(D×H)
- 樣品臺: 50mm (D)
- 操作真空: 4×10-1mbar至2×10-2mbar
- 工作電壓: 0-1600V (DC)可調
- 濺射電流: 0-50mA
- 濺射定時: 1-9999S
- 蒸碳電流 0-10A(AC)
- 真空泵: 4升兩級機械旋轉泵(極限真空2×10-2mbar)