OLS4500納米檢測顯微鏡產品介紹：

OLS4500是一款集成了光學顯微鏡、激光顯微鏡和掃描探針掃描顯微鏡（SPM）功能于一體的新型納米檢測顯微鏡，可以實現從50倍到最高100萬倍的超大范圍的觀察和測量。通過光學顯微鏡的多種觀察法、激光顯微鏡的高分辨率觀察，可以很容易探索到觀察點。即使在SPM的高倍率觀察中，也可以做到不會迷失觀察點，進行正確的觀察和測量。這是具有光學顯微鏡、激光顯微鏡和SPM各自*功能的復合型顯微鏡。

特征：

• 一體機的機型縮短從放置樣品到獲取影像的工作時間

• 使用光學顯微鏡的多種觀察方法，迅速找到觀察對象

• 使用激光顯微鏡，可以觀察到光學顯微鏡中難以觀察到的樣品影像

• 迅速發現觀察對象，在SPM上正確完成無縫觀察

• 支持多種分析的SPM測量模式。3種標準模式（接觸模式、動態模式、相位模式）和3種選擇模式（表面電位模式KFM、電流模式、磁力模式MFM）

• 輕松檢測85°尖銳角

• 高分辨率10nm，輕松測量微小輪廓

• 最多可以拼接625幅影像，從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數據；可以在該大范圍視圖上進行3D顯示或3D測量

• 可用于傳統的線粗糙度測量，也可用于信息量較多的面粗糙度測量

  用本公司開發的微懸臂可以獲得高精細、高質量的SPM圖像

探針顯微鏡的原理和特長：

可以觀察納米級微觀世界的探針顯微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)

探針顯微鏡（SPM）是通過機械式地用探針在樣品表面移動，檢測出探針與樣品之間產

生的力、電的相互作用，同時進行掃描，從而得到樣品影像。探針好的曲率半徑為10 nm

左右。典型的探針顯微鏡是原子力顯微鏡（AFM），它通過檢測探針和樣品表面之間作用的引力和張力進行掃描并獲得影像。探針顯微鏡能夠觀察納米級微觀形貌，可以捕捉到樣品精細的一面。

通過微懸臂掃描進行納米觀察

OLS4500上采用了光杠桿法——通過高靈敏度檢測出最前端裝有探針的微懸臂的微小彎曲量（位移）來進行觀測的方法。在懸臂的背面反射激光，并用壓電元件驅動Z軸，使激光照射到光電檢測器的位置，從而正確讀取Z方向的微小位移。

多種觀察模式在影像中呈現表面形狀和物性

探針顯微鏡擁有多種觀察模式，可以觀察、測量樣品表面的形狀，還可以進行物性分析。OLS4500配有以下模式。

●接觸模式：在影像中呈現表面形狀（較硬的表面）

控制微懸臂與樣品之間作用的排斥力為恒定的同時， 使微懸臂進行靜態掃描， 在影像中呈現樣品的高度。 還可以進行彎曲測量。

●動態模式：在影像中呈現表面形狀（較軟的表面、有粘性的表面）

使微懸臂在共振頻率附近振動， 并控制Z方向的距離使振幅恒定， 從而在影像中呈現樣品高度。 特別適用于高分子化合物之類表面柔軟的樣品及有粘性的樣品。

●相位模式：在影像中呈現樣品表面的物性差

在動態模式的掃描中， 檢測出微懸臂振動的相位延遲。 可以在影像中呈現樣品表面的物性差。

●電流模式*：檢測出探針和樣品之間的電流并輸出影像

對樣品施加偏置電壓，檢測出微懸臂與樣品之間的電流并輸出影像。此外，還可以進行I/V測量。

●表面電位模式（KFM）*：在影像中呈現樣品表面的電位

使用導電性微懸臂并施加交流電壓， 檢測出微懸臂與樣品表面之間作用的靜電， 從而在影像中呈現樣品表面的電位。 也稱作KFM（Kelvin Force Microscope）。

● 磁力模式（MFM）*：在影像中呈現樣品表面的磁性信息

在相位模式中使用磁化后的微懸臂進行掃描， 檢測出振動的微懸臂的相位延遲， 從而在影像中呈現樣品表面的磁力信息。也稱作MFM（Magnetic Force Microscope）。

應用實例：

DVD表面                                      維氏硬度計壓痕

（掃描區域 5μm×5μm 3D影像）               （掃描區域 20μm×20μm 3D影像）

可清楚觀察到DVD刻錄面的凹陷和表面狀態。      可清楚觀察到從壓痕頂角延伸的裂痕。

TiO2單結晶電路板                             IC元件圓孔

（掃描區域 5μm×5μm 3D影像）              （掃描區域 4μm×4μm 3D影像）

可觀察到約0.3 nm的TiO2          可觀察到元件表面附著的微小異物（白的原子臺階色部分）

高分子薄膜                                    鋁合金陽極氧化膜

（掃描區域 10μm×10μm 3D影像）            （掃描區域 1.8μm×1.8μm 表面可觀察到薄膜表面的劃痕（中間靠左）          電位模式（KFM模式）左：高度影像右：電位影像）

觀察到鋁合金陽極氧化膜的表面形狀（左）的同時，觀察到表面電位（右）影像上沒有顯示出來的網眼狀構造，可在電位影像上清楚的看到。