詳細(xì)介紹
PELCO® LatticeAx420(原LatticeGear™)是PELCO® LatticeAx®晶圓劃片裂片切割系列中的頂配,是一款用于實(shí)驗(yàn)室晶圓精密劃片裂片的切割機(jī)。
使用PELCO® LatticeAx420能在不到5分鐘的時(shí)間內(nèi)獲得最高10μm的高精度裂片,對于重視速度和高精度,同時(shí)需要適應(yīng)各種樣品尺寸、厚度和材料類型的實(shí)驗(yàn)室來說是個(gè)理想的選擇。
PELCO® LatticeAx420配有專用底座與完整的視覺套件,包括一個(gè)具有4μm光學(xué)分辨率的單目顯微鏡、彩色CCD相機(jī)和實(shí)時(shí)圖像采集和顯示軟件,以及一個(gè)X-Y軸向平臺。入門門檻低,任何經(jīng)過培訓(xùn)的用戶都可以輕松地測量、對齊、微壓痕、裂解和檢查處理過的樣品。
產(chǎn)品特點(diǎn):
高精度目標(biāo)定位(±10µm)
帶粗調(diào)和細(xì)調(diào)控制的調(diào)焦座
單目、準(zhǔn)焦距、變焦鏡頭(0.58-7x mag),帶彩色CCD攝像頭(不包括電腦和顯示器)
壓頭位置控制,步長為5µm
拋光的鉆石壓頭
5分鐘完成快速裂片
使用簡單,符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì),占地面積小
可裂解各種材料和樣品尺寸
配有用于校準(zhǔn)壓痕深度的刻度盤