詳細介紹
此款JYSC-1000型噴金儀主要用于SEM制樣樣品鍍導電膜(如金膜)或材料鍍膜,儀器性能穩定,操作簡單方便。采用磁控冷態濺射,基本不升溫,最大限度保護樣品。
主要特點:
2 真空泵連接管路為金屬波紋管,美觀耐用;
2 微調閥調節靈敏準確,帶有刻度標識;
2 真空泵抽速快,噪音低,適合實驗室使用;
2 控制電路為控制板,工作穩定可靠;
2 磁控冷態濺射,基本不升溫,最大限度保護樣品;
技術參數:
1. 真空室:Φ150mm,高度110mm;
2. 試樣臺尺寸:Φ60mm,
3. 金靶尺寸:Φ50mm;
4. 真空系統:抽速8m3/h;
5. 真空檢測:定制皮氏計,配合真空指針表,靈敏可靠;
6. 排氣方式:自動;
7. 濺射時間:0-1000秒可連續設置。
8. 真空室工作氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進氣口和微量充氣節;
9. 可使用多種金屬靶材:Au,Au/Pd,Pt,Pt/Pd,Cu,Ag等,靶材更換快速方便
10. 主機尺寸:約450×330×235mm