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新能源材料應(yīng)用大氣等離子清洗機(jī),經(jīng)濟(jì)的真空等離子處理機(jī)
達(dá)因特SPA系列大氣等離子清洗機(jī),經(jīng)濟(jì)的真空等離子處理機(jī)分為直噴和旋轉(zhuǎn)型,SPV等離子體處理機(jī)是真空腔體,臺(tái)式\*獨(dú)立的,只需小的工作臺(tái)面積.
SPA系列是大氣等離子清洗機(jī)，其中分為直噴和旋轉(zhuǎn)型 ， SPV等離子體處理機(jī)是真空腔體，臺(tái)式\*獨(dú)立的，需要小的工作臺(tái)面積。系統(tǒng)機(jī)箱容納等離子體室，控制電子設(shè)備，13.56 MHz射頻發(fā)生器和自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)。通過(guò)互鎖的門或可拆卸的面板提供維護(hù)通路。等離子室多支持7個(gè)可移動(dòng)和可調(diào)節(jié)的動(dòng)力或接地貨架，以適應(yīng)各種零件，零件和零件運(yùn)輸工具，包括雜志，托盤和船只。真空等離子體處理系統(tǒng)可以適應(yīng)各種各樣的工藝氣體，包括氬氣，氧氣，氫氣，氦氣和氟化氣體。兩種型號(hào)都配有兩（2）個(gè)電子質(zhì)量流量控制器，用于氣體控制，另外兩個(gè)（2）可選（多4個(gè)））。方便的設(shè)施連接，用于驗(yàn)證過(guò)程中使用的定期校準(zhǔn)要求。
SPA等離子處理設(shè)備： 允許全面的前部訪問，方便地訪問所有內(nèi)部組件。泵定位在輥?zhàn)由希阌诓鹦丁５入x子體室由11號(hào)不銹鋼和鋁制固定裝置構(gòu)成，具有出色的耐用性。該室具有多個(gè)可移動(dòng)和可調(diào)節(jié)的貨架，可容納一系列零件承運(yùn)人，包括機(jī)械手，托盤，晶片。具有可選高吞吐量貨架的離子體處理系統(tǒng)，將等離子清洗機(jī)的可靠性和工藝質(zhì)量與達(dá)因特*的擱架設(shè)計(jì)的成熟優(yōu)勢(shì)相結(jié)合。等離子體中發(fā)現(xiàn)的反應(yīng)離子，提高了處理均勻性，同時(shí)縮短了處理時(shí)間。系統(tǒng)允許從一系列工藝氣體（如氬氣，氫氣和氦氣）中進(jìn)行選擇。它配備了四個(gè)質(zhì)量流量控制器，用于氣體控制。開槽的雜志垂直放置在室內(nèi)。此外，開槽的處理的材料可以垂直放置在室內(nèi)。通常，每個(gè)槽至少保存20個(gè)引線框。SPV等離子室可容納多個(gè)放置處理的槽，具體取決于處理材料的大小。
等離子體系統(tǒng)是一種有效的等離子體處理，具有用于批量處理的超大型室。它是一種經(jīng)濟(jì)的真空等離子處理機(jī)，用于處理各種零部件。它*獨(dú)立，需要小的占地面積。泵，腔室，控制電子設(shè)備和13.56 MHz射頻發(fā)生器都包含在其外殼內(nèi)。AP-1500等離子處理設(shè)備還提供滑出式水平貨架，便于裝卸。其緊湊，服務(wù)友好的設(shè)計(jì)占地面積小，專為從系統(tǒng)前后的維護(hù)而設(shè)計(jì)。因此，多個(gè)真空等離子體處理系統(tǒng)可以并排放置，以大化占地面積利用率。泵定位在輥?zhàn)由希阌诓鹦丁？刂葡到y(tǒng)可以在多個(gè)級(jí)別進(jìn)行密碼保護(hù)，以防止未經(jīng)授權(quán)的配方修改。這確保系統(tǒng)從批到后一次的性能一致。
達(dá)因特大氣等離子清洗機(jī)設(shè)備提供了的處理的均勻性和一致性的過(guò)程，等離子體系統(tǒng)在一個(gè)非常可配置的平臺(tái)中提供的等離子體處理質(zhì)量和自動(dòng)化功能，從而實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體和電子封裝的高產(chǎn)量等離子體處理和等離子體清洗， 根據(jù)室內(nèi)套件和電極配置，等離子體室能夠進(jìn)行諸如電介質(zhì)蝕刻，光致抗蝕劑除去/灰分，氧化物去除，有機(jī)污染物清潔和表面活化等過(guò)程。