20年前，Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學雜志發布了HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀，初期主要應用于半導體行業的特氣檢測，如毒性氣體AsH₃、B₂H₆、PH₃等，強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF₃等，強氧化性氣體如CIF₃、NF₃等。

20年來，Hiden在這一細分領域具有強大的產品力，針對不同程度的腐蝕氣體分析，提供不同的解決方案。

HPR-80 腐蝕性氣體分析質譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體，HF，HCl，HBr和鹵代烴氣體工藝產生的反應產物。

主要特點：

1、連接件電拋光工藝處理
2、取樣壓力： 1mTorr to 1000Torr
3、高靈敏度三級過濾四極桿
4、檢測限可達 5 ppb
5、QGA專業版定量分析軟件