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NLD-3500（M）原子層沉積系統
NLD-3500（M）原子層沉積系統：ALD原子層沉積可以滿足精確膜厚控制以及高深寬比結構的保形沉積，這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術。由于前驅體流量的...

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NLD-4000（M）原子層沉積系統
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NLD-4000（ICPA）全自動PEALD系統
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進口ALD設備
進口ALD設備：ALD原子層沉積可以滿足膜厚控制以及高深寬比結構的保形沉積，這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術。由于前驅體流量的隨意性不會帶來影響，所以在...

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NLD-4000（ICPM）PEALD系統
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ALD等離子ALDPlasma增強ALD進口原子層沉積系統進口PEALD系統
NLD-3500（A）全自動原子層沉積設備
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NLD-4000（A）全自動原子層沉積系統
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原子層沉積系統
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