二維材料通常是在高溫下、一定氣氛下合成,襯底的選擇非常有限,需要襯底能夠耐高溫、耐化學(xué)腐蝕。但是這些生長襯底經(jīng)常不能滿足后期器件的制備以及性能調(diào)控,因此,將納米尺度的二維材料完整、無損地從生長襯底上轉(zhuǎn)移到另一個襯底上對于拓展其應(yīng)用、組裝更復(fù)雜光電子學(xué)元器件是一件非常重要而且有挑戰(zhàn)性的工作。另外,將不同的二維材料堆疊在一起,可以形成由范德瓦爾斯作用維系的雙層甚至多層人工材料。這樣的材料被稱為范德瓦爾斯異質(zhì)結(jié)。性質(zhì)迥異的二維材料堆疊到一起之后可以得到令人驚奇的物理性質(zhì)。近乎無限豐富的可能性使得范德瓦爾斯異質(zhì)結(jié)的重要性甚至高過了二維材料本身。所以,亟需一套高效、靈活、精準(zhǔn)的二維材料轉(zhuǎn)移系統(tǒng)來解決二維材料轉(zhuǎn)移困難的問題。
該轉(zhuǎn)移系統(tǒng)是為了能準(zhǔn)確的在襯底上做標(biāo)記或轉(zhuǎn)移材料而設(shè)計,它不僅可以在x-y-z三軸方向相對移動,還可以通過傾斜和旋轉(zhuǎn)來移動。當(dāng)制造異質(zhì)結(jié)構(gòu)的材料時,可以使晶體薄片的排列具有最高的自由度。基底采用真空固定,并可在操作過程中進行加熱。該系統(tǒng)緊湊的設(shè)計便于放置在手套箱中,可以轉(zhuǎn)移操作對空氣較為敏感的材料。
襯底支架的溫度和真空度由觸摸屏控制,用戶可以自定義的加熱速率。除了設(shè)置襯底支架真空度的泵以外,控制箱還包含一個壓縮機,可以使用氣流更快地冷卻襯底支架。
數(shù)碼顯微鏡有3個遠場物鏡,5X, 20X和50X。它無需計算機操控,只需要通過HDMI與顯示器直接連接。圖像直接存儲在閃存驅(qū)動器中。
該軟件可以操控設(shè)置圖像顏色,校準(zhǔn)范圍以及繪制簡單的形狀或參考線。整套設(shè)備包含:光學(xué)部件、機械操控臺,電子操控臺,顯示器等模塊。
二維材料的濕法與干法轉(zhuǎn)移基本分為兩個步驟:
首先,將生長(剝離)的二維材料轉(zhuǎn)移到載玻片的聚合物上;
其次,將二維材料從聚合物上轉(zhuǎn)移到目標(biāo)襯底上,完成轉(zhuǎn)移工作。
1. 在樣品臺上粘上雙面粘性膠帶 2. 將樣品置于樣品臺 3. 將樣品臺對角固定確保平整度
4. 使用放大物鏡將樣品成像 5. 將樣品旋轉(zhuǎn)倒置 6. 將樣品安裝于微操作器上
7. 將樣品粗略地置于樣品臺 8. 將樣品移入物鏡/CCD可視范圍內(nèi) 9. 樣品圖片開始聚焦
10. 緩慢的移動樣品并用微操作器 11. 當(dāng)快要接觸到樣品表面時,它的
在X-Y軸方向進行調(diào)整,將薄片與 位置是借助CCD的數(shù)碼變焦進行
所需的模塊對齊 微調(diào)的
具體案例:
夾層結(jié)構(gòu) 異質(zhì)結(jié)構(gòu)