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FB-2100聚焦離子束系統
高效率的電鏡樣品制備和微加工工具。
特點:
1.高精度及高切削速度。
2.微樣品制備成為可能。
3.降低了對樣品的損傷。
4.更寬的束流能量范圍。
主要技術指標
在加速電壓為40kV時:
圖像分辨率: | 6 nm |
大束流: | 30 nA |
大束流密度: | 25 A/cm2 |
束位置穩定性: | 15 nm/min |
放大倍率(顯示) : | 700X 到 300,000X |
離子光學 |
離子源 | Ga |
發射槍位置調節: | 手動 |
透鏡: | 2級電磁透鏡系統 |
像散校正: | 8極電磁系統 |
X和Y方向偏轉: | 8極靜電系統 |
遮擋: | 靜電系統 |
光闌: | 計算機控制馬達驅動 |
加速電壓: | 10~40kV (10, 15, 20, 25, 30, 35, 40 kV 可選) |