X熒光光譜儀主要由激發源（X射線管）和探測系統構成，適用于工廠來料及制程控制中的有害物質檢測，鉛(Pb)、汞(Hg)、鎘(Cr)、鉻(Cd)、溴(Br)、氯(Cl)控制的利器。無損檢測，可對電子電氣設備，玩具指令中的有害物質進行定性定量分析。
X熒光光譜儀的優缺點介紹：
優點
a) 分析速度快。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，10～300秒就可以測完樣品中的全部待測元素。
b) X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。
c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。
e) 分析精密度高。目前含量測定已經達到ppm級別。
f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
缺點
a） 定量分析需要標樣。
b）對輕元素的靈敏度要低一些。
c）容易受元素相互干擾和疊加峰影響。
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