| 產地類別 |
國產 |
產品種類 |
其他 |
| 價格區間 |
面議 |
介質分類 |
氣體 |
| 應用領域 |
綜合 |
流量規格（氮氣） |
30SLM-100SLM |
熱式氣體質量流量控制器/流量計主要應用在量程范圍從5sccm—1500slm之間氣體流量的測量和控制，采用新型傳感制作工藝，具有本體顯示、數模一體，隨意切換、多種通訊、響應速度快、準確度高、流量控制穩定、壓力范圍寬、線性度好等優點，適用于絕大多數干燥、干凈的氣體（及少數腐蝕性氣體）。
應用行業：真空鍍膜設備、石油化工、航空航天、醫藥制造業、火電、核電、天然氣加氣站、太陽能、 液晶面板制造半導體工藝設備、化學與化工實驗設備、食品科學與工程設備、能源與環境保護設備、各種分析儀器設備表面處理、真空冶金及材料工藝、高校及科研院所實驗室設備等行業的公司
☆ 氣體質量流量控制器/流量計出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量單位：SCCM（標準毫升每分鐘）、SLM（標準升每分鐘）
標準狀況：溫度--293.15K(20℃)
壓力--101325Pa（760mmHg）
F.S（Full Scale）表示滿量程
》流量計特征
--全數字構架 --更快的響應速度
--寬壓力范圍 --出色的線性度
--新型傳感制作工藝
流量規格（氮氣） | 0-10sccm/10sccm-50slm |
控制量程 | 2%-100% |
精度 | ≤±1.0%F.S |
線性 | ≤±0.5%F.S |
重復性 | ≤±0.2%F.S |
閥門類型 | 常閉閥 |
響應時間 | 1-3sec |
最大耐壓 | 0-50Bar |
通信信號 | 0-5V/4-20mA/Rs485 |
供電方式 | 14VDC--27VDC (300mA) |
泄漏率 | 1×10-9atm. cc/sec He |
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