中國現階段傳感器發展重點和戰略目標
傳感器發展重點
(1)MEMS工藝和新一代固態傳感器微結構制造工藝:深反應離子刻蝕(DRIE)工藝或IGP工藝;封裝工藝:如常溫鍵合倒裝焊接、無應力微薄結構封裝、多芯片組裝工藝;新型傳感器:如用微硅電容傳感器、微硅質量流量傳感器、航空航天用動態傳感器、微傳感器,汽車壓力、加速度傳感器,環保用微化學傳感器等。
(2)集成工藝和多變量復合傳感器微結構集成制造工藝;工業控制用多變量復合傳感器,如:壓力、靜壓、溫度三變量傳感器,氣壓、風力、溫度、濕度四變量傳感器,微硅復合應變壓力傳感器,陳列傳感器。
(3)智能化技術與智能傳感器信號有線或無線探測、變換處理、邏輯判斷、功能計算、雙向通訊、自診斷等智能化技術;智能多變量傳感器,智能電量傳感器和各種智能傳感器、變送器。
(4)網絡化技術和網絡化傳感器傳感器網絡化技術;網絡化傳感器,使傳感器具有工業化標準接口和協議功能。
戰略目標
傳感器領域應爭取實現三大戰略目標:
以工業控制、汽車、通訊、環保為重點服務領域,以傳感器、彈性元件、光學元件、電路為重點對象,發展具有自主知識產權的原創性技術和產品;
以MEMS工藝為基礎,以集成化、智能化和網絡化技術為依托,加強制造工藝和新型傳感器和儀表元器件的開發,使主導產品達到和接近國外同類產品的*水平;
以增加品種、提高質量和經濟效益為主要目標,加速產業化,使國產傳感器的品種占有率達到70%~80%,產品達60%以上。