G-TRAN系列 多離子規(guī)
SH2-1/SH2-2
ULVAC開發(fā)不同測定范圍的測定子可連接換能器型『G-TRAN 系列多離子規(guī)』(特許申請中)，并進行制品化。過去復數(shù)方式原理組合成一個匡體的復合真空計，「一個測定子的故障導致測定子需要全部更換」「測定子結構復雜容易故障」「測定子價格高」等的客戶反饋經(jīng)常聽到，如果是這種新方式，可以進行廣帶域測定，運行費用大幅削減，對應低環(huán)境負荷。愛發(fā)科真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2?
特點
? 廣域測定：從大氣壓到高真空領域（10+5?5×10-8Pa）可以進行測定（SPU?SAU同時使用的場合）
? 不同測定范圍的測定子可以連接：多離子規(guī)(特許申請中)的采用導致可以選擇適合用途的測定子
? 正確的大氣壓測定：大氣壓確認容易過去正確可能(使用SAU場合)
? 低環(huán)境負荷對應：針對測定子進行必要的更換，盡可能降低運行成本費
? 辨認性提升：搭載可以確認異常的LED
? 保養(yǎng)性：測定子的更換容易
? 測定值輸出信號：壓力0-10V輸出(信號輸出)
? 控制輸出信號：設定值3點輸出可能(SH2-1)
? 串行通信規(guī)格：RS232C/RS485通信可能（SH2-2）
? 適合規(guī)格：CE標準對應
愛發(fā)科真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2?
用途
? 太陽能電池，F(xiàn)PD，半導體，電子部品為主的各種制造裝置的高真空領域過程控制用
? 內(nèi)聯(lián)式，枚葉式等多種過程室搭載的各種制造裝置的高真空領域的到達壓力確認用
? 高真空?超高真空裝置的壓力測定用
規(guī)格
| 型號 | SH2-1 | SH2-2 | |
| 規(guī)格 | 標準規(guī)格 | 串行通信規(guī)格 | |
| 自適應多離子規(guī)傳感器 | M-34(NW16)、M-35(NW25)、M-36(UFC070) | ||
| 可以連接的傳感器 | 多離子規(guī)傳感器：1套 皮拉尼真空計SPU：1套（可選） 大氣壓傳感器SAU：1套（可選） | ||
| 取樣時間 | 70ms 4次的移動平均處理 | ||
| 測定值輸出td> | 輸出電壓 DC 0?10V LOG輸出 0.75V/1位 壓力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2} * 兼有設定值調(diào)整用的輸出電壓(僅限ST2-1) | ||
| 更新時間 | 50msec | ||
| 控制輸入信號 | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 開路集電極輸入，負邏輯 * FIL ON/OFF信號はモードにより使用方法が異なる | – | |
| 控制輸出信號 | 傳感器故障，設定值1/2/3、排放驅(qū)動器、 燈絲電力監(jiān)視 額定：24VMAX、50mAMAX、飽和電壓1V | – | |
| 串行通信規(guī)格 | – | RS232C/RS-485 | |
| LED顯示 | POWER/ERROR： 電源、錯誤LED (取決于模式改變閃爍) FIL： 有效發(fā)光的LED | ||
| SET1： 設定值1LED SET2： 設定值2LED SET3： 設定值3LED | – | ||
| 排放電流 | 1mA(1×10-3Pa以下)、10μA | ||
| DEGAS | 電子碰撞解吸方式（電子轟擊）1mA、330V | ||
| 傳感器耐壓 | 2×10+5Pa（壓力） * 法蘭或夾子等的耐壓力需要另外考慮 | ||
| 傳感器內(nèi)容積 | 34cm3（M-34） | ||
| 使用溫度范圍 | 10?50ºC | ||
| 使用濕度范圍 | 15?80%(無結露) | ||
| 儲藏溫度 | -20?65ºC(當斷電時，無結露) | ||
| IP防護等級 | IP30 | ||
| 電源電壓 | DC20?28V (紋波，噪聲低于1%) 19W以下(當接通電源時156W) | ||
| 輸入輸出連接器 | D-sub15針（M2.6螺） | ||
| 重量 | 控制器：約530g B-A測定子(M-34)：63g | ||
| 外形尺寸 W×D×H | 144mm×75mm×62mm以下(控制器單元) | ||
| 適合規(guī)格 | CE | ||
| 選 項 | 多離子規(guī)傳感器 | M-34(NW16)、M-35(NW25) 材質(zhì)：燈絲1-Ir/Y2O3涂層、 燈絲2-W(鎢)、 其他-PtC?Mo、SUS、W | |
| 皮拉尼 | SPU | ||
| 皮拉尼規(guī)傳感器 | WP-16(NW16) 材質(zhì)：燈絲Pt、 其他－BS/Ni、電鍍、Ni、焊接 | ||
| 大氣壓傳感器 | SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L | ||
| 單元電纜 | SPU用0.5m、SAU用0.5m | ||
| 顯示單元 | 1CH：Model ISG1 (DC24V電源使用) 4CH：Model IM1R1 (DC24V電源使用) 、 Model IM2R1 (AC100V電源使用) | ||
| 顯示單元電纜 | SH2?顯示單元間電纜 2m、5m、10m、15m、20m | ||
■ 各模式規(guī)格：可選擇SH2-1/SH2-2是多離子規(guī)單體模式，皮拉尼真空計與組合模式，皮拉尼真空計及大氣壓傳感器與三倍組合模式的3種使用方法
蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮(zhèn)江日本進口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2
常州揚州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安
日本進口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2
如東宿遷徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州日本進口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2
紹興金華寧波余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海日本進口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2
廣州惠州通州桂林南寧南昌贛州武漢成都重慶日本進口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2
荊州太原蘭州烏魯木齊石家莊天津長春吉林日本進口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2
濟南青島威海德州連云港昆明九江安慶日本進口愛發(fā)科真空泵、真空計G-TRAN多離子規(guī)SH2-1/SH2-2
| 模式 | SH2-1/SH2-2 單體模式 | SH2-1/SH2-2＋SPU 組合模式 | SH2-1/SH2-2＋SPU＋SAU 組合模式 |
| 測定壓力范圍 | 5×10-8?1×10+1Pa | 5×10-8?1×10+4Pa | 5×10-8?1×10+5Pa |
| 測定精度 | 5×10-8?1×10+1Pa： ±15% | 5×10-8?1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3?3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3?1.0×10+4Pa： 不保證精度 | 5×10-8?1×10+3Pa： ±15% 1.0×10+3?3.0×10+3Pa： ±30% 3.0×10+3?1.0×10+4Pa： 不保證精度 1.0×10+4?1.0×10+5Pa： ±3%F.S. (3×10+3Pa? 基準溫度25ºC) |
| 重復性精度 | 1×10-6?1×10-1Pa： ±2% | ||
| 連接圖 (例) |  |  |  |
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