歐瑞康萊寶真空的SC系列渦旋泵的主要技術參數為:
·可以提供抽速為5, 15,30和60m3/h的4款產品SC5D/15D/30D/60D;
·高極限真空,zui低可達0.01mbar;
·低噪聲;
·低振動;
·允許進氣壓力大;
·重量輕;
·能耗低;
應用范圍:
·電子束焊接;
·激光;
·檢漏系統;
·加速器/同步加速器;
·表面分析儀;
·STM’s;
·ELMI;
·小型渦輪泵組;
·進樣室;