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簡述SCPSD-100-14-15派克PARKER壓力控制器
選型參數美國PARKER高純度隔膜閥,派克20620-6-6C
膜片厚度zui大,zui大限度地減少潛在的滲透,同時zui大限度提高循環壽命
泥漿和腐蝕性化學品分配系統
連接方式有Parflare, Pargrip 或Nippon Pillar S300 。
上個開放和橫掃碗形狀圍繞其隔膜,顆粒截留,提供更高的防腐蝕保護。
zui大限度地減少湍流并消除可以引起流體剪切尖角。
流體溫度范圍:0°F +266° F (-17°C +130° C)
壓力范圍:真空到100 psi 半導體 特點/: 應用:
工業 優異的耐腐蝕性
zui高壓力100 psig。閥門本身也非常緊湊,
PV-20系列泥漿閥閥體由初形態100%超高純聚四氟乙烯制成,具有更好的耐化學性。
如控制酸、化學品和去離子水的流量。
市場: 航空航天 工具掛鉤
選型參數美國PARKER高純度隔膜閥,派克20620-6-6C
減少了 均勻分布的閥座密封力zui小化隔膜和閥座應變,穩定閥門背壓能力
接口尺寸范圍:1/4" - 1-1/4" ,
閥門的流路設計zui大限度降低產生的壓降,
總的來說,閥門的設計使其特別適合處理磨蝕和腐蝕性泥漿流體,
允許較低的上游壓力需求,改進流體動力學。
比如那些存在于受雇于半導體制造的CMP (化學機械平坦化或化學機械拋光)工藝的 。
符合 SEMI-F57-0301關于聚合物元件的標準
環境溫度范圍:0°F +150° F (-17°C +66° C)
PV-20系列是PTFE聚四氟乙烯含氟聚合物氣動隔膜閥,
閥門有2通和3通型,三種通徑尺寸(1/4", 1/2",和1")。
使操作者能夠保護潔凈室和次潔凈區。
PV-20系列的角形和圓形流路,加
用在開環系統中腐蝕性流體時,自排水設計有助性
用于半導體和潔凈區域應用中控制研磨性泥漿介質和腐蝕性流體。
使閥門具有良好的柔韌性和zui高循環壽命,
半導體工具 去離子水g
這個,再加上改性聚四氟乙烯隔膜,
PV-20系列也適用于廣泛的其他潔凈區處理及分析應用,比
分析試驗室 制藥 生物制藥
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