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日本CKD小型流量感測器AC4000-03D
各種泄露檢查
針孔檢查
離子化器的吹掃氣體確認
焊接氣體的管理
吹掃氣體的流量管理
落座確認
吸附確認
可以直接測量泄露流
量。即便是微壓，由于
輸出與針孔成正比，
因此也可以用來判斷
有否故障、確認狀態
①與①與壓力感測器不相上下的高速應答（應答由管線的內容積、壓力等決定）
②由于是通過流量探測的，因此不存在因壓力的變化而引起的調節、誤檢情形。
③可以探測出噴嘴或過濾器的孔口堵塞。
④通過流量探測，可以管理傾斜吸附等吸附錯誤。
利用壓力感測器時有時差壓過小而無法判別，此
時根據流量可以準確地進行判別。
激光激發器、半導體制造裝置的N2氣體管理
處置的流量量程大。
內嵌速控器型（特別訂購品）可以
輕松對流量進行控制。
各種泄露檢查
離子化器的流量管理
焊接氬、碳酸氣的流量管理
涂裝氣體的流量管理
吹掃氣體的流量管理
吸附確認
與壓力感測器相比較（噴嘴直徑為Ф0.3、真空壓力為-70kPa時）
日本CKD小型流量感測器AC4000-03D
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