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AWM2000系列為無源器件,包含兩個惠斯頓電橋:一個為閉環的發熱 控制電路,一個為雙傳感電路,圖 1,2 為用戶需外加電路,圖 3 為推 薦的輸出信號放大電路。
圖1電路為發熱控制電路,通過保持恒定的發熱溫度與變化的外界溫度 之差減小由于外部溫度變化引起的誤差,外界溫度由芯片上相似的負溫 度系數電阻測得,這種模式還能減少由于氣體濃度及成分變化產生的影響,這種變化可以改變熱傳導及傳感元件的工作特性。
圖 2 為傳感橋供電電路,傳統的惠斯通電路,傳感器內含的傳感元件組成了橋路的兩個動態臂,輸出電壓隨電源變化,當氣流方向變化時,輸出的電壓極性也發生變化。
圖3是一個實用的傳感器接口放大電路,提高增益及調節輸出電壓的偏置
特點:
* 雙向氣流傳感
* 實際氣體質量流量傳感
* 流速 0~30sccm 到 0~1000sccm
* 需另加發熱器控制及傳感橋路供電電路