目錄:北京中顯恒業(yè)儀器儀表有限公司>>澤攸科技電子顯微鏡>>SEM原位解決方案>> SEM原位解決方案——納米探針臺(tái)
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更新時(shí)間:2024-09-23 15:19:01瀏覽次數(shù):320評(píng)價(jià)
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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產(chǎn)品描述
SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡(jiǎn)單,能在真空下使用等優(yōu)點(diǎn),可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運(yùn)動(dòng)操作。
SEM納米探針臺(tái)產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng),運(yùn)無(wú)需潤(rùn)滑,百分真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運(yùn)動(dòng)分辨率達(dá)到納米級(jí)。步進(jìn)和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達(dá)到亞納米分辨率的定位。
三軸探針臺(tái)由三個(gè)單軸運(yùn)動(dòng)臺(tái)組合而成。一SEM腔體內(nèi)可安裝多個(gè)三軸探針臺(tái)。平上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測(cè)量頭,實(shí)現(xiàn)微納操縱和測(cè)量的目的。
▲ 兼容性:適配多種鎢燈絲、場(chǎng)發(fā)射SEM,保證電鏡安全性
▲ 探針驅(qū)動(dòng)方式:PZT壓電陶瓷
▲ XYZ行程:XY軸行程≥±10mm,Z軸行程≥10mm
▲ 細(xì)調(diào)行程:3um
▲ 細(xì)調(diào)最小步長(zhǎng):≤1nm
▲ 控制模式:開(kāi)環(huán)/閉環(huán)
▲ 探針數(shù)量:最多支持8探針
▲ 制冷系統(tǒng)(選配功能):熱臺(tái)200℃;冷臺(tái)-60℃(TEC);冷臺(tái)-170℃(液氮)
• 主要配置
壓電探針臺(tái)、壓電三軸位移控制器、PC+軟件(閉環(huán)選配)、壓電冷臺(tái)(選配)、手提箱、源表(選配)、制冷系統(tǒng)(選配)、定制適配電鏡法蘭、工具附件等
▲ 結(jié)構(gòu)緊湊,高剛性
▲ 零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)
▲ 壓電陶瓷位移平臺(tái)具有超長(zhǎng)使用壽命
▲ 內(nèi)部根據(jù)需求可增加位置反饋
▲ 應(yīng)用:納米材料操縱、納米器件電學(xué)光電等物性測(cè)量、生物細(xì)胞DNA操作等
▲ 適配SEM:日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等
電容樣品測(cè)試
電容樣品測(cè)試
碳纖維測(cè)試
器件測(cè)試
薄層材料測(cè)試
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