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真空度常用單位：Pa、Kpa、Mpa、大氣壓、公斤(Kgf/cm2)、mmHg、mbar、bar、PSI等。
近似換算關系如下: 1MPa=1000KPa 1KPa=1000Pa 1大氣壓=100KPa=0.1MPa
1大氣壓=1公斤(Kgf/cm2)=760mmHg 1大氣壓=14.5PSI 1KPa=10mbar
雙級泵的極限壓力為6×10-2～l×10-2Pa，一種單級泵可達4Pa左右，另一種單級泵為50～200Pa左右。
